[发明专利]制造微型流体装置的方法

权利要求书

1.一种制造微型流体装置的方法，所述方法包括：

提供一个模；

将软化的玻璃或可陶瓷化的玻璃的片置于所述模上；

对所述片施加不同的气体压力，使所述片与所述模贴合，由此在所述片的至少一个表面上形成微型通道；

通过在所述模上粘结一块玻璃或可陶瓷化的玻璃的片，在所述片的至少一个表面上基本封盖所述微型通道。

2.权利要求1所述的方法，其特征为：它还包括陶瓷化所述板与所述片的步骤。

3.如权利要求1或2所述的方法，其特征为：对所述片施加不同的气体压力以使所述片与所述模贴合的步骤包括对在所述片与所述模之间的片抽真空。

4.如权利要求1-3中任何一项所述的方法，其特征为：通过在所述模上粘结玻璃或可陶瓷化的玻璃的片以在所述片的至少一个表面上基本封盖所述微型通道的步骤包括将一软玻璃片轧平放置在所述贴合的片上，由此将所述软玻璃片粘结在所述贴合的片上。