[发明专利]一种用于透射电镜的加速极的制造方法及其陶瓷环

权利要求书

1.一种用于透射电镜的加速极的制造方法，其特征在于：包括以下步骤：

①陶瓷环成型，采用等静压成型工艺，使陶瓷粉成型为内部中空的圆柱体状的陶瓷环(1)；

②金属化，采用厚膜工艺对成型后的所述陶瓷环(1)进行金属化；

③组装，将n个金属化后的所述陶瓷环(1)与n+1个圆环状的封接金属片(2)同轴心且相间隔地固定组装在一起，组装后在其中一端的所述封接金属片(2)上固定连接能与所述透射电镜其他部件装配的连接机构，从而形成所述加速极。

2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述步骤①中采用的压力为150-350MPa；所述陶瓷粉为95氧化铝陶瓷。

3.根据权利要求2所述的制造方法，其特征在于：所述步骤②中采用厚膜工艺钼锰法对成型后的所述陶瓷环(1)进行金属化。

4.根据权利要求3所述的制造方法，其特征在于：在所述步骤①之后还包括清洗和焙烧的步骤。

5.根据权利要求4所述的制造方法，其特征在于：在所述步骤③之前还包括对所述封接金属片(2)进行防锈处理的步骤。

6.根据权利要求5所述的制造方法，其特征在于：所述防锈处理的步骤为在所述封接金属片(2)表面镀镍。

7.根据权利要求6所述的制造方法，其特征在于：所述步骤③中采用氢焊或真空焊接方法使相邻所述陶瓷环(1)和所述封接金属片(2)焊接在一起；所述连接机构包括依次连接组装在一起的第一绝缘环(3)、连接圈(4)和第二绝缘环(5)，所述第一绝缘环(3)与所述封接金属片(2)固定连接。

8.根据权利要求7所述的制造方法，其特征在于：在所述步骤③之后还包括对组装后的所述加速极进行检漏的步骤。

9.一种用于组装权利要求1-8中加速极的陶瓷环(1)，其特征在于：具有内部中空的圆柱体外形，在所述陶瓷环(1)的内壁(6)沿其周向成型有向所述陶瓷环(1)的外壁(7)凹进的凹槽(8)。

10.根据权利要求9所述的陶瓷环(1)，其特征在于：所述凹槽(8)沿所述陶瓷环(1)轴向的截面形状为梯形。

11.根据权利要求10所述的陶瓷环(1)，其特征在于：所述凹槽(8)的槽底(11)的宽度小于所述凹槽(8)开口位置的宽度。

12.根据权利要求11所述的陶瓷环(1)，其特征在于：临近所述陶瓷环(1)的端面(9)的所述内壁(6)上成型有自所述内壁(6)向所述端面(9)倾斜的内壁斜面(10)；所述内壁斜面(10)形成的圆台侧面的敞口靠近所述端面(9)。

13.根据权利要求12所述的陶瓷环(1)，其特征在于：临近所述陶瓷环(1)的所述端面(9)的所述外壁(7)上成型有自所述外壁(7)向所述端面(9)倾斜的外壁斜面(12)；所述外壁斜面(12)形成的圆台侧面的敞口远离所述端面(9)。