[发明专利]用于TFT-LCD蚀刻制程的面板品质虚拟量测方法与系统

权利要求书

1.一种用于TFT-LCD蚀刻制程的面板品质虚拟量测方法，其特征是采用如下步骤：

1)先进制程控制单元(120)获取至少一制程机台(110)的制程参数资料值(131)后，原始数据处理单元(130)将各制程参数数据值(131)先减去制程参数数据值(131)的平均值，再除以制程参数数据值(131)的标准偏差；

2)量测机台(190)获取抽样量测加工后的面板品质量测值(192)，面板品质数据处理单元(191)将抽样的面板品质量测值(192)先减去面板品质量测值(192)的平均值，再除以面板品质量测值(192)的标准偏差；

3)关键参数挑选单元(140)以逐步回归的方式从制程参数数据值(131)中挑选关键制程参数数据值(141)，且当制程参数数据值(131)其中之一的偏F值大于且进入阈值时，则该制程参数数据值(131)被设定为关键制程参数数据值(141)；

4)线性模型预估单元(150)根据关键制程参数数据值(141)及其对应的实际面板品质量测值(192)的关系，以线性最小二乘算法建立初始预估模型(151)；

5)在初始预估模型(151)的基础上将同一配方下误差的总变动量，依产品种类解成不同的部份，再以假设检定的方法来判断这些产品因素是否确实能解释资料的变动，多产品效益处理单元(160)根据同一配方下各个面板的产品效益产生初始多产品预估模型(161)；

6)干扰项系数处理单元(170)根据关键制程参数数据值(141)，由初始多产品预估模型(161)得到估计值，并计算该估计值与各估计值所对应的实际面板品质量测值(192)之间的误差值，以时间序列回归算法处理该误差值，产生干扰项系数(171)后建立虚拟量测模型单元(180)。

2.根据权利要求1所述的用于TFT-LCD蚀刻制程的面板品质虚拟量测方法，其特征是：步骤3)中关键参数挑选单元(140)从制程参数数据值(131)中挑选与面板品质量测值(192)最相关的关键制程参数数据值(141)时，先在所有的制程参数数据值(131)中寻找出对最终面板品质最大的偏F值，再将其加入模型中形成第一模型(210)，再将剩下的制程参数数据值(131)个别加入第一模型(210)中计算其偏F值，确定该制程参数数据值(131)是否大于进入阈值，然后挑选出最大的偏F值加入模型中形成第二模型(220)，当第二模型(220)中的制程参数数据值(131)超过3个后，将其个别移出第二模型(220)看其偏F值是否有小于剔除阈值，然后挑选出偏F值最小的制程参数数据值(131)予以删除后再继续加入其他制程参数数据值(131)，如此一直执行直至达到设定所需的制程参数数据值(131)个数后，或当剩下的制程参数数据值(131)个别加入模型都小于进入阈值时即停止。

3.根据权利要求2所述的用于TFT-LCD蚀刻制程的面板品质虚拟量测方法，其特征是：由公式y＝α+β₁x₁+ε、y＝α+β₁x₁+β₂x₂+ε先计算面板品质的估计值，并根据实际的面板品质量测值(192)，由公式得到回归的平方和SSR(1)、SSR(2)以及残差平方和MSE(1)，再由公式算出偏F值；

公式中：为面板的品质，为制程参数数据值，为第二模型参数，ε为预估误差，N为量测面板的个数，为估计的模型系数，p是估计的模型系数的个数，p＝3。

4.一种用于TFT-LCD蚀刻制程的面板品质虚拟量测系统，包含一制程机台(110)、一先进制程控制单元(120)和一量测机台(190)、制程机台(110)的输出连接先进制程控制单元(120)的输入，其特征是：先进制程控制单元(120)的输出连接原始数据处理单元(130)的输入，原始数据处理单元(130)的输出连接关键参数挑选单元(140)的输入，关键参数挑选单元(140)的输出连接线性模型预估单元(150)的输入，线性模型预估单元(150)的输出连接多产品效益处理单元(160)的输入，多产品效益处理单元(160)的输出连接干扰项系数处理单元(170)的输入，干扰项系数处理单元(170)的输出连接虚拟量测模型单元(180)的输入；所述量测机台(190)的输出连接面板品质数据处理单元(191)的输入，面板品质数据处理单元(191)的输出连接多产品效益处理单元(160)的输入；将干扰项系数处理单元(170)与关键参数挑选单元(140)相连。