[发明专利]一种二极管台面处理工艺无效
申请号: | 201010260856.4 | 申请日: | 2010-08-24 |
公开(公告)号: | CN101937845A | 公开(公告)日: | 2011-01-05 |
发明(设计)人: | 陆国华;吴亚红;陈炎;董建林 | 申请(专利权)人: | 如皋市日鑫电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/329 | 分类号: | H01L21/329;H01L21/02 |
代理公司: | 北京一格知识产权代理事务所 11316 | 代理人: | 赵绍增 |
地址: | 226500 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 二极管 台面 处理 工艺 | ||
技术领域
本发明涉及一种二极管台面处理工艺,具体是一种由台面腐蚀、钝化、清洗、高纯水超声清洗四大步骤构成的二极管台面处理工艺。
背景技术
传统的台面清洗为用氨水、双氧水和水进行两次清洗或用铬酸进行清洗,该工艺的缺点在于清洗液用料多增加成本;清洗工序多降低效率;所得产品在150℃的温度下,漏电流为50毫安,产品性能一般。
发明内容
本发明的主要任务在于提供一种二极管台面处理工艺,具体是一种能有效减少台面处理工艺,降低成本,提高产品性能的二极管台面处理工艺。
为了解决以上技术问题,本发明的一种二极管台面处理工艺,主要由台面腐蚀、钝化、清洗、高纯水超声清洗四大步骤构成;其特征在于:所述台面清洗为:采用氢氧化钠或氢氧化钾清洗液,在温度为25±3;时间为120-300秒下一次清洗完成。
进一步地,所述氢氧化钠或氢氧化钾浓度为0.3%±5。
本发明的优点在于:采用上述台面处理工艺,对台面用清洗溶液进行一次性处理,省料省时;另外该工艺处理所得的成品的高温特征为:150℃的温度下,漏电流为小于30毫安。
附图说明
图为本发明的结构示意图。
具体实施方式
如图所示,所述二极管由电极1、焊片2、芯片3、焊片4、电极5焊接为一体,焊接后在两电极之间用硅橡胶或聚酰亚胺胶6密封,再在其组成的整体外表面用环氧树脂进行封装组成。
接下来对上述的芯片台面进行处理,具体步骤如下:
首先进行台面腐蚀:选取混合酸作腐蚀液,具体为:硫酸∶硝酸∶氢氟酸∶冰乙酸(体积比)=4∶9∶9∶12,然后在温度为25±3的温度下腐蚀120-300秒,腐蚀一次。
第二步是台面钝化。钝化时,使用的为体积比为:双氧水∶磷酸∶水(体积比)=2∶1∶3的溶剂,将芯片台面置于该溶剂中,以70-85℃的温度钝化120-300秒,钝化一次。
第三步清洗:清洗液为浓度0.3%±5的氢氧化钠或氢氧化钾溶液,清洗温度为25±3;清洗时间为120-300秒,清洗一次。
最后进行高纯水循环超声清洗:在常温下,按以下标准清洗一次即可:高纯水流量为3吨/小时,超声频率控制在50-150赫兹;清洗时间为240-600秒。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造