[发明专利]多晶硅破锭方法

权利要求书

1.一种多晶硅锭破锭方法，其特征在于，包括：

步骤1：向浆料缸中打入冷却液，将多晶硅锭粘接到托盘上；

步骤2：将金刚石钢线安装于所述工作台上的放线轴上以低张力值进行走线形成线网，设置好高线位及低线位后以高张力值进行走线；

步骤3：将固定好的多晶硅的托盘装入机床，并调整所述托盘的位置使四周边料切割厚度相等，下降工作台，底部线网差1mm接触硅锭表面最高点，并设置为零点；

步骤4：关闭所有滑动门，设置切割参数开始切割，所述切割参数包括：工作台速度、线速度、流量、张力和回线率。

2.根据权利要求1所述的多晶硅破锭方法，其特征在于，所述将多晶硅锭粘接到托盘上具体为：用电叉车将托盘放在粘接区，夹具夹紧硅锭，用天车升起多晶硅，放置于托盘的中心，用聚氨酯发泡填缝剂将硅锭边缘四周粘牢。

3.根据权利要求2所述的多晶硅破锭方法，其特征在于，所述多晶硅的数量为一个硅锭。

4.根据权利要求3所述的多晶硅破锭方法，其特征在于，所述冷却液为纯水。

5.根据权利要求3所述的多晶硅破锭方法，其特征在于，所述冷却液为二乙醇胺与纯水的混合液。

6.根据权利要求5所述的多晶硅破锭方法，其特征在于，所述二乙醇胺质量分数为3-5％。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的多晶硅破锭方法，其特征在于，所述低张力值为10-20N。

8.根据权利要求7所述的多晶硅破锭方法，其特征在于，所述高张力值为70-90N。

9.根据权利要求8所述的多晶硅破锭方法，其特征在于，所述切割参数大小分别为：工作台速度为2000-2400um/min，线速度为13-15m/s，流量为120-140kg/min，张力为70-90N，回线率为99-99.4％。

10.根据权利要求9所述的多晶硅破锭方法，其特征在于，所述步骤4之后还包括：

步骤5：待切割完毕后剪断收放线轴上两侧钢线，抽出内夹线，使用电叉车将整个托盘升起，将整个硅锭移出切割室，将每块多晶硅块取出清洗。