[发明专利]溅射钽环件的制备工艺

权利要求书

1.一种溅射钽环件的制备工艺，其特征在于工艺过程为：首先制备环件用钽条，卷圆后将钽条两端焊接，热处理，整形，内外表面滚花，切断焊口，进行端头滚花，然后在环件表面加工焊接槽口，酸洗，将凸台焊接在上述环件表面的焊接槽口上，再次酸洗，在规定区域内喷砂，最后利用超声波进行清洗即可。

2.按照权利要求1所述的溅射钽环件的制备工艺，其特征是：上述环件用钽条的制备过程为首先将钽料采用先打方再拍扁的方式锻造，随后在1000℃～ 1100℃ 温度条件下热处理60min～120min，采用换向轧制法开坯轧制，在1000℃～ 1100℃温度条件下进行第二次热处理60min～120min，采用单向轧制进行成品轧制，最后在1200℃～1400℃温度条件下进行第三次热处理120min～180min，校平下料即得。

3.按照权利要求1所述的溅射钽环件的制备工艺，其特征是：上述卷圆时在钽条的上下表面垫橡胶皮，控制圆度≤1.0mm。

4.按照权利要求1所述的溅射钽环件的制备工艺，其特征是：上述焊接时焊缝宽度≤5mm，焊缝光整，焊后将突出点通过磨削消除。

5.按照权利要求1所述的溅射钽环件的制备工艺，其特征是：上述热处理是指将钽条置于温度为钽熔点的30%～35%的条件下保温60～120分钟。

6.按照权利要求1所述的溅射钽环件的制备工艺，其特征是：上述整形控制圆度≤0.2mm。

7.按照权利要求1所述的溅射钽环件的制备工艺，其特征是：上述内外表面滚花和端头滚花是指在普通车床上，利用滚花轮进行表面滚花。

8.按照权利要求1所述的溅射钽环件的制备工艺，其特征是：上述酸洗工艺为利用氢氟酸：盐酸=3：1的混合酸，酸洗2～10分钟。