[发明专利]用于电子元器件的后处理的系统有效

专利信息
申请号: 201010257518.5 申请日: 2010-08-17
公开(公告)号: CN101996913A 公开(公告)日: 2011-03-30
发明(设计)人: 赖因哈特·里希特;安德烈亚斯·纳吉;伯恩哈德·洛伦茨;马克斯·绍勒;斯特凡·库尔茨;托马斯·霍夫曼;赫尔穆特·沙伊本祖贝尔 申请(专利权)人: 综合测试电子系统有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66;H01L21/68
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 田军锋;魏金霞
地址: 德国罗*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 用于 电子元器件 处理 系统
【权利要求书】:

1.一种在电子元器件(1)制造完成后在后处理机器(702)中对多个所述电子元器件(1)进行后处理的方法,其中,所述方法包括:

--设置具有对准夹具(10)的载体(100),所述对准夹具(10)包括夹持机构;

--致动所述夹持机构以扩大接收器(20)的尺寸,其中,每个所述接收器(20)被指定给所述对准夹具(10)之一,并且其中,扩大的接收器(20)大于待接收的所述电子元器件(1);

--将所述电子元器件(1)定位在所述对准夹具(10)的所述扩大的接收器(20)中;

--致动所述夹持机构以减小所述接收器(20)的尺寸,从而将所述电子元器件(1)夹持在所述载体(100)的所述接收器(20)中并在所述载体(100)的所述接收器(20)中对准所述电子元器件(1);

--将所述载体(100)放置在所述后处理机器(702)中;

--当所述电子元器件(1)在所述载体(100)的所述接收器(20)中保持在对准位置时,使所述电子元器件(1)接受所述后处理机器(702)的操作。

2.根据权利要求1所述的方法,其中,所述方法进一步包括:

--通过所述夹持机构仅在所述电子元器件(1)的侧部上弹性夹持所述电子元器件(1)。

3.根据权利要求1或2所述的方法,其中,所述使所述电子元器件(1)接受所述后处理机器(702)的操作包括:

--为所述载体(100)设置用于明确识别所述载体(100)的识别特征。

4.根据权利要求1至3所述的方法,其中,所述使所述电子元器件(1)接受所述后处理机器(702)的操作包括:

--为所述载体(100)设置用于基准检测的基准标记。

5.根据权利要求1至4所述的方法,其中,所述使所述电子元器件(1)接受所述后处理机器(702)的操作包括在通过所述载体(100)保持和对准所述电子元器件(1)并通过操纵所述载体(100)来移动所述电子元器件(1)时进行的激光打标。

6.根据权利要求1至5所述的方法,其中,所述使所述电子元器件(1)接受所述后处理机器(702)的操作包括在通过所述载体(100)保持和对准所述电子元器件(1)并通过操纵所述载体(100)来移动所述电子元器件(1)时进行的老化测试。

7.根据权利要求1至6所述的方法,其中,所述使所述电子元器件(1)接受所述后处理机器(702)的操作不包括在通过所述载体(100)保持和对准所述电子元器件(1)并通过操纵所述载体(100)来移动所述电子元器件(1)时在分选机上进行的最终测试。

8.一种用于对多个电子元器件(1)进行后处理的流水线装置,其中,所述流水线装置包括:

多个后处理机器(702),所述多个后处理机器(702)在所述电子元器件(1)制造完成后实施后处理;

载体设置单元,所述载体设置单元适于设置具有对准夹具(10)的载体(100),所述对准夹具(10)包括夹持机构;

致动单元,所述致动单元适于致动所述夹持机构以扩大接收器(20)的尺寸,其中,每个所述接收器(20)被指定给所述对准夹具(10)之一,并且其中,扩大的接收器(20)大于待接收的所述电子元器件(1);

定位单元,所述定位单元适于将所述电子元器件(1)定位在所述对准夹具(10)的所述扩大的接收器(20)中;

其中,所述致动单元适于致动所述夹持机构以减小所述接收器(20)的尺寸,从而将所述电子元器件(1)夹持在所述载体(100)的所述接收器(20)中并在所述载体(100)的所述接收器(20)中对准所述电子元器件(1);

放置单元,所述放置单元适于将所述载体(100)放置在所述后处理机器中,并且当所述电子元器件(1)在所述载体(100)的所述接收器(20)中保持在对准位置时使所述电子元器件(1)接受所述后处理机器(702)的操作。

9.根据权利要求8所述的流水线装置,进一步包括:

制造设备,所述制造设备用于制造所述电子元器件(1)并设置在所述多个后处理机器的工艺流程上游,从而首先制造所述电子元器件(1),随后使易于制造的所述电子元器件(1)接受所述后处理。

10.根据权利要求8或9所述的流水线装置,其中,

所述夹持机构适于仅在所述电子元器件(1)的侧部上弹性夹持所述电子元器件(1)。

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