[发明专利]铝合金表面防腐处理方法及其制品

权利要求书

1.一种铝合金表面防腐处理方法，包括以下步骤：

(1)采用无水乙醇对铝合金基材进行超声波清洗；

(2)以纯铝为靶材，以氩气为工作气体，氮气和氧气为反应气体，采用磁控溅射法在铝合金基材表面溅镀一铝氧氮化合物薄膜，所述氧气流量为15～70sccm，氮气流量为10～60sccm。

2.如权利要求1所述的铝合金表面防腐处理方法，其特征在于：该步骤(2)还在如下参数条件下进行：真空腔内真空度为5×10^-3Pa～9×10^-3Pa，腔体温度为100～180℃，转架转速为0.5～1转/分钟，铝靶功率为6～12kw，氩气流量为150～300sccm，铝靶偏压为-100～-300V，占空比为40％～60％，溅射0.5～4小时。

3.如权利要求2所述的铝合金表面防腐处理方法，其特征在于：所述步骤(2)是在一中频磁控溅射设备中进行。

4.如权利要求2所述的铝合金表面防腐处理方法，其特征在于：该铝氧氮化合物薄膜的厚度为0.2～1.5μm。

5.如权利要求1所述的铝合金表面防腐处理方法，其特征在于：该铝氧氮化合物薄膜中铝原子个数百分比为50％～80％，氧原子个数百分比为15％～40％，氮原子个数百分比为5％～10％。

6.如权利要求1所述的铝合金表面防腐处理方法，其特征在于：该铝氧氮化合物薄膜由直径为6～10nm的晶粒组成。

7.一种铝合金制品，包括铝合金基材，其特征在于：该铝合金制品还包括形成于铝合金基材表面的一铝氧氮化合物薄膜，该铝氧氮化合物薄膜中铝原子个数百分比为50％～80％，氧原子个数百分比为15％～40％，氮原子个数百分比为5％～10％。

8.如权利要求7所述的铝合金制品，其特征在于：该铝氧氮化合物薄膜由直径为6～10nm的晶粒组成。

9.如权利要求7所述的铝合金制品，其特征在于该铝氧氮化合物薄膜的厚度为0.2～1.5μm。