[发明专利]测量装置

权利要求书

1.一种测量装置，具备：出射光学系统，所述出射光学系统将在一个方向上延伸的线状光照射到被测量物上；摄像元件，所述摄像元件获得从所述被测量物反射的线状反射光，

所述测量装置根据所述摄像元件获得的所述线状反射光在所述被测量物上的几何学位置关系来测量被测量物的表面形状，所述测量装置的特征在于，具备：

成像光学系统，所述成像光学系统被设置在所述被测量物与所述摄像元件之间，使所述线状反射光成像于所述摄像元件的受光面上以获得所述线状光在所述被测量物上的形状；

光束分束机构，所述光束分束机构将所述线状反射光分束并将分束的线状反射光导向所述摄像元件，

其中，所述光束分束机构对所述线状反射光进行分束以获得在所述线状光的延伸方向上观察时在彼此不同测量位置上所述线状光在所述被测量物上的形状，

所述摄像元件在受光面上设定有多个片段且所述多个片段的每个被划分为多个区域，所述多个片段中的至少一个或更多的区域用作受光区域，

所述成像光学系统使所述光束分束机构分束的所述线状反射光成像于所述摄像元件的所述受光面上的彼此不同的所述片段的所述受光区域上。

2.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述受光区域是在所述摄像元件的所述受光面上的所述多个片段中最先进行输出处理的区域。

3.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述光束分束机构将对所述被测量物的测量对象实施了光学设定之后的所述线状反射光进行分束。

4.如权利要求2所述的测量装置，其特征在于，所述光束分束机构将对所述被测量物的测量对象实施了光学设定之后的所述线状反射光进行分束。

5.如权利要求3所述的测量装置，其特征在于，所述光束分束机构在对所述线状反射光进行分束之后，使各个分束的线状反射光分别在沿所述摄像元件的所述受光面的平面上观察时正交的两个方向的位置发生位移，据此能够获得在所述线状反射光的延伸方向上观察时彼此不同的测量位置上所述线状光在所述被测量物上的形状。

6.如权利要求4所述的测量装置，其特征在于，所述光束分束机构在对所述线状反射光进行分束之后，使各个分束的线状反射光分别在沿所述摄像元件的所述受光面的平面上观察时正交的两个方向的位置发生位移，据此能够获得在所述线状反射光的延伸方向上观察时彼此不同的测量位置上所述线状光在所述被测量物上的形状。