[发明专利]一种基于图像处理的电子束表面加工方法

权利要求书

1.基于图像处理的电子束表面加工方法，其特征在于：该方法的步骤是：

(1)将电子束加工设备准备就绪后，在工作台上放置需要进行加工的工件；

(2)关闭真空室门，开启真空系统抽真空，使工件工作环境达到可工作状态；

(3)利用图像处理软件生成电子束扫描轨迹的位图文件，并为扫描轨迹中的每一个像素点设定灰度值；

(4)提取扫描轨迹图像文件的像素点的参数，将像素点分成X和Y两组位置数据，将每个像素点的灰度值定义为该点的电子束扫描停留时间，灰度值0为该点不停留，并将XY位置数据和灰度值通过串口通讯从图像处理装置中下载保存到电子束加工设备的扫描控制装置的存储器中；

(5)通过扫描控制装置分别将X和Y两组位置数据转成电压模拟信号，灰度值作为输出电压信号的延迟时间，延时完成后，再读取下一像素点参数，根据此点的参数改变输出电压信号与延迟相应时间，直到所有的像素点都被扫描完成。驱动器将每次输出的电压信号放大处理后，输出到偏转线圈的X和Y通道；

(6)将电子束加工设备工作电压加到150kv，并将阴极灯丝加热，调整聚焦电流为表面聚焦状态；

(7)打开扫描控制系统控制开关，然后打开设备束流开关，调整束流，并从CCD显示屏上观察电子束表面加工过程；

(8)扫描结束后关断束流，关闭扫描控制系统和灯丝加热；

(9)真空室放气后，将工件拿出。

2.根据权利要求1所述的基于图像处理的电子束表面加工方法，其特征在于：图像处理软件生成电子束扫描轨迹的位图文件为BMP格式。

3.根据权利要求1所述的基于图像处理的电子束表面加工方法，其特征在于：灰度值为1的电子束扫描的停留时间是1微秒。