[发明专利]干涉膜厚仪及反射率测量方法

权利要求书

1.一种干涉膜厚仪，其特征在于包括：下述(1)～(4)所示的检测头、光检测器、内部反射机构以及反射率计算部，

(1)所述检测头，用于把测量光射向对象物，并且导入来自所述测量光所照射的所述对象物的反射光；

(2)所述光检测器，检测接收到的光的强度，所述光检测器的光接收部被配置在导入所述检测头内的所述反射光到达的位置；

(3)所述内部反射机构，位于所述检测头内的一部分所述测量光到达的位置，并且配置在使被所述内部反射机构反射的光到达所述光检测器的光接收部的位置，所述内部反射机构的光反射率是固定的；

(4)所述反射率计算部，

在从属测量期间内，测量：第一输出值，该第一输出值是在实际上光没有被导入状态下的所述光检测器的输出值；第二输出值，该第二输出值是把实际上不反射光的黑试样作为所述对象物使用时的所述光检测器的输出值；以及第三输出值，该第三输出值是把光反射率已知的校正试样作为所述对象物使用时的所述光检测器的输出值，所述从属测量期间是实际上能够忽略所述光检测器的输出值变动的期间；

并且在主测量期间内，测量：第四输出值，该第四输出值是在实际上光没有被导入状态下的所述光检测器的输出值；第五输出值，该第五输出值是把所述黑试样作为所述对象物使用时的所述光检测器的输出值；以及第六输出值，该第六输出值是把作为测量对象的检查工件作为所述对象物使用时的所述光检测器的输出值，所述主测量期间是所述从属测量期间以外的期间，并且是实际上能够忽略所述光检测器的输出值变动的期间；

根据所述第一输出值～所述第六输出值，计算出所述检查工件的光反射率。

2.根据权利要求1所述的干涉膜厚仪，其特征在于还包括：分束器，所述分束器配置在所述检测头主体内，所述分束器反射一部分测量光，并使被反射的所述一部分测量光向所述对象物照射；并且使一部分测量光透过，并使透过的所述一部分测量光向所述内部反射机构照射，另一方面，所述分束器使导入所述检测头内的所述反射光透过，并导入到所述光检测器中；并且反射被所述内部反射机构反射的光，并使被反射的所述被所述内部反射机构反射的光导入到所述光检测器中。

3.根据权利要求1所述的干涉膜厚仪，其特征在于，所述黑试样以能够在测量光照射到的照射位置和测量光照射不到的退避位置之间移动的方式附加在所述检测头上，或者以能够装拆的方式附加在所述检测头上。