[发明专利]振镜扫描器

权利要求书

1.一种振镜扫描器，该振镜扫描器包括：

机械支撑单元(700)，其与光学元件(220)的远端接合，其中所述光学元件(220)的近端连接到旋转电动马达(210)的输出轴(211)，其中所述机械支撑单元(700)保持所述光学元件(220)的旋转轴线与所述旋转电动马达(210)的旋转轴线的对准。

2.根据权利要求1所述的振镜扫描器，其中所述光学元件(220)是反射镜、波片或透镜。

3.根据权利要求1所述的振镜扫描器，其中所述机械支撑单元(700)相对于所述旋转电动马达(210)的旋转轴线X轴线是固定的，并且限制所述光学元件(220)在旋转时沿Y轴线和Z轴线的位移。

4.根据权利要求3所述的振镜扫描器，其中所述光学元件(220)的振动为

My··+(Kb+KMSUy)y=0,]]>

其中M是弯曲模式模态惯量，y是所述光学元件(220)沿所述Y轴线的位移，K_b是弯曲模式模型刚度，K_MSUy是所述机械支撑单元(700)沿所述Y轴线的刚度，并且“...”表示相对于时间的二阶导数。

5.根据权利要求4所述的振镜扫描器，其中所述弯曲模式的谐振频率为

ωb=Kb+KMSUyM.]]>