[发明专利]易于集成制造的高性能微型电磁式振动能量采集器

权利要求书

1.一种易于集成制造的高性能微型电磁式振动能量采集器，包括有衬底、绝缘层、线圈、电极、弹簧平台、支撑座和永磁体，其特征在于：所述衬底上表面附着有线圈，所述线圈的首尾两端分别与二个电极相连接，所述衬底上表面覆盖有绝缘层，所述绝缘层将所述的线圈包覆在其中，所述二个电极位于绝缘层之上；所述绝缘层的上表面附着有多个支撑座，多个支撑座上架装有弹簧平台，所述的弹簧平台位于所述线圈的正上方，并与所述的线圈之间有间隙，所述弹簧平台上固定连接有永磁体。

2.根据权利要求1所述的易于集成制造的高性能微型电磁式振动能量采集器，其特征在于：所述的衬底为石英或玻璃。

3.根据权利要求1所述的易于集成制造的高性能微型电磁式振动能量采集器，其特征在于：所述的线圈采用在衬底上表面通过电镀铜或金的方式形成，所述的线圈为单层导体环绕或首尾相互连接的多层导体环绕结构，其中单层线圈的厚度为2～20微米。

4.根据权利要求1所述的易于集成制造的高性能微型电磁式振动能量采集器，其特征在于：所述的二个电极采用在绝缘层上通过电镀铜或金的方式形成，其面积分别为(400～500)×(600～800)平方微米，厚度分别为10～30微米。

5.根据权利要求1所述的易于集成制造的高性能微型电磁式振动能量采集器，其特征在于：所述绝缘层为聚酰亚胺、PMMA或SU-8胶柔性不导电聚合物层，厚度为5～200微米。

6.根据权利要求1所述的易于集成制造的高性能微型电磁式振动能量采集器，其特征在于：所述的多个支撑座在绝缘层上表面分别通过电镀铜或镍的方式形成，各个支撑座的面积分别为(50～100)×(100～500)平方微米，高度分别为50～1000微米。

7.根据权利要求1所述的易于集成制造的高性能微型电磁式振动能量采集器，其特征在于：所述的弹簧平台为由通过电镀镍或铜等金属形成的四个或多个螺旋型弹性臂和中间的平台构成，弹簧片的厚度分别为5～50微米，弹性臂宽度分别为10～200微米，弹簧平台的中心面积为(200～2000)×(200～2000)平方微米。

8.根据权利要求1所述的易于集成制造的高性能微型电磁式振动能量采集器，其特征在于：所述的永磁体是通过将永磁粉与粘结剂的混合体压制在图形化结构凹坑内，并集成制造在所述的弹簧平台上，可以是单个的立方体，或者为阵列结构，当永磁体为单个立方体时，其面积为(200～2000)×(200～2000)平方微米，厚度为10～800微米；当为永磁体为3×3阵列结构时，各个部分的面积大小为(10～120)×(120～300)平方微米，厚度为10～800微米，行间距为10～30微米，列间距为10～30微米。