[发明专利]太阳能电池电极及其制程

权利要求书

1.一种太阳能电池电极，藉由一连接结构电性连接至一导电元件，其特征在于，其包含一阻障层，所述阻障层位于一接触电极上。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池电极，其特征在于，更包含一母线，位于该阻障层与该接触电极之间。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池电极，其特征在于，更包含一母线，位于该连接结构与该阻障层之间。

4.一种太阳能电池，包含如权利要求1所述的太阳能电池电极，其特征在于，该导电元件包含指插式结构或可挠式片状结构。

5.一种太阳能电池电极，藉由一连接结构电性连接至一导电元件，其包含一具有至少一孔洞的介电结构，位于一接触电极上，其中该连接结构配置于所述孔洞内。

6.根据权利要求5所述的太阳能电池电极，其特征在于，更包含一阻障层，位于所述孔洞内，并配置于该连接结构与该接触电极之间。

7.根据权利要求6所述的太阳能电池电极，其特征在于，更包含一母线，位于该连接结构与该阻障层之间。

8.根据权利要求6所述的太阳能电池电极，其特征在于，更包含一母线，位于该阻障层与该接触电极之间，其中该母线位于所述孔洞内的该接触电极上，或是该介电结构与所述孔洞内的该阻障层皆位于该母线上。

9.一种太阳能电池，包含如权利要求5项所述的太阳能电池电极，其中该导电元件包含指插式结构或可挠式片状结构。

10.一种太阳能电池电极的制程，其特征在于，包含下列步骤：

形成一介电结构于一接触电极上；以及

形成至少一孔洞于该介电结构，其中电性连接该太阳能电池电极与一导电元件的一连接结构配置于所述孔洞内。

11.根据权利要求10所述的太阳能电池电极的制程，其特征在于，所述孔洞形成之后，更包含下列步骤：

形成一阻障层于所述孔洞内的该接触电极上，其中该阻障层包含下列群组之一或其组合：钛、铜、钨、钼。

12.根据权利要求11所述的太阳能电池电极的制程，其特征在于，于形成该介电结构之前或于形成该阻障层之前，更包含下列步骤：

形成一母线于该接触电极上，其中该母线包含下列群组之一或其组合：金、银。

13.根据权利要求11所述的太阳能电池电极的制程，其特征在于，于形成该阻障层之后，更包含下列步骤：

藉由所述孔洞定位该连接结构的形成位置后，形成该连接结构于该阻障层上，其中该连接结构包含下列群组之一或其组合：锡、铝；以及

藉由表面粘着技术回焊该导电元件与该连接结构，使该导电元件电性连接至该太阳能电池电极。

14.根据权利要求13所述的太阳能电池电极的制程，其特征在于，于形成该连接结构之前，更包含下列步骤：

形成一母线于所述孔洞内的该连接结构与该阻障层之间，其中所述孔洞内的该母线包含下列群组之一或其组合：金、银，其中所述孔洞藉由微影蚀刻所形成，并于形成所述孔洞之后、形成该阻障层之后、形成该阻障层上的母线之后、或形成该连接结构之后，移除该微影制程的光阻材料。

15.一种太阳能电池，包含如权利要求10所制作的电极，其中该介电结构包含下列群组之一或其组合：二氧化硅、二氧化钛、氧化铝、氮化硅；该导电元件包含指插式结构或可挠式片状结构；该导电元件包含下列群组之一或其组合：镍、银、铝、铜、钯；以及该接触电极包含下列群组之一或其组合：镍、银、铝、铜、钯。