[发明专利]有机发光面板的制造装置及有机发光面板的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及有机发光面板的制造装置及有机发光面板的制造方法。

背景技术

由于有机EL(Electro Luminescence)极薄且所谓面发光的形状、优良的色彩再现性、所谓无紫外线(UV レス)的光质及无水银，因此从期盼比荧光灯节省能量的环境性能等出发，作为有益于环境的下一代照明被赋予大的期待。该有机EL通常使用透明导电性膜图案形成后的玻璃基板，主要经过洗净工序、有机层成膜工序、阴极成膜工序、密封工序而制造。并且，若有机EL的有机层等暴露于大气中的水分或氧中，则发光特性恶化，因此在上述的密封工序中，需要设置将有机层等从外部气体隔离的密封结构。

因此，例如在下述专利文献1中公开有通过将成膜有机层后的元件基板和配置有密封剂的密封基板贴合来密封元件基板的有机层等的方法。另外，在下述专利文献2中公开有如下方法：在元件基板与密封基板的上部设置弹性体的板，通过对设置有元件基板和密封基板的空间进行排气而利用作用于弹性体的板的压力差来使元件基板与密封基板贴合。并且，下述专利文献3、4中公开有在减压状态下使元件基板与密封基板贴合的方法。

专利文献1：日本特开2006-85957号公报

专利文献2：日本特开2005-276754号公报

专利文献3：日本特开2005-243413号公报

专利文献4：日本特开2006-179352号公报

然而，在上述专利文献1、2中公开的现有的发光面板的制造装置及发光面板的制造方法中，存在当元件基板与密封基板贴合时气泡混入到元件基板与密封基板之间的问题。而且，在上述专利文献1～4中公开的现有的发光面板的制造装置及发光面板的制造方法中，存在当元件基板与密封基板贴合时元件基板与密封基板之间产生错位的问题。

发明内容

由于以上原因，本发明的目的在于，提供一种当元件基板与密封基板贴合时气泡不会混入到元件基板与密封基板之间且元件基板与密封基板之间不会产生错位的有机发光面板的制造装置及有机发光面板的制造方法。

解决上述问题的第一方面的有机发光面板的制造装置通过使单一或多个区域上设有有机发光元件的元件基板和与有机发光元件相对应的区域上配置有密封材料的密封基板在真空减压下贴合，来密封所述有机发光元件，所述有机发光面板的制造装置的特征在于，具备：

下侧真空容器；

上侧真空容器，其能够开闭地安装于所述下侧真空容器；

弹性体的板，其设置在所述上侧真空容器的开口部；

密封基板用托座，其是在所述下侧真空容器内以所述密封材料为上侧而限制所述密封基板的位置的托座。

元件基板用托座，其是以所述有机发光元件为下侧而在所述密封基板的上方隔开所述元件基板与所述密封基板并限制所述元件基板与所述密封基板的相对位置的托座；

升降工作台，其从下侧吸附固定所述密封基板且能够升降；

吸排气机构，其能够分别对由所述板分隔的所述上侧真空容器内的第一空间及所述下侧真空容器内的第二空间的气体进行吸气排气；

控制机构，其以如下方式进行控制：密闭所述下侧真空容器及所述上侧真空容器，使所述第一空间和所述第二空间成为真空，使所述升降工作台上升而使所述密封基板与所述元件基板接触，向所述第一空间导入大气压或大气压以上的气体，使所述第一空间与所述第二空间之间产生的压力差经由所述板作用于所述元件基板，从而使所述元件基板与所述密封基板压接。

在第一方面的有机发光面板的制造装置的基础上，解决上述问题的第二方面的有机发光面板的制造装置的特征在于，所述升降工作台具备能够加热所述密封基板的加热机构。

解决上述问题的第三方面的有机发光面板的制造方法通过使单一或多个区域上设有有机发光元件的元件基板和与有机发光元件相对应的区域上配置有密封材料的密封基板在真空减压下贴合，来密封所述有机发光元件，所述有机发光面板的制造方法的特征在于，

有机发光面板的制造装置具备：

下侧真空容器；

上侧真空容器，其能够开闭地安装于所述下侧真空容器；

弹性体的板，其设置在所述上侧真空容器的开口部；

吸排气机构，其能够分别对由所述板分隔的所述上侧真空容器内的第一空间及所述下侧真空容器内的第二空间的气体进行吸气排气，

在所述有机发光面板的制造装置中，

在所述下侧真空容器内以所述密封材料为上侧而限制所述密封基板的位置，