[发明专利]液体余液回收装置及回收方法有效
申请号: | 201010244229.1 | 申请日: | 2010-07-29 |
公开(公告)号: | CN101976706A | 公开(公告)日: | 2011-02-16 |
发明(设计)人: | 肖列;吴而义;赵美锋 | 申请(专利权)人: | 无锡尚德太阳能电力有限公司;洛阳尚德太阳能电力有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人: | 曹祖良 |
地址: | 214028 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 液体 回收 装置 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种主要应用在光伏电池制造领域内使余液得以回收的装置,尤其是一种液体余液回收装置及回收方法。
背景技术
目前,在太阳能电池生产过程中的扩散工艺需要用到三氯氧磷作为扩散源,由于三氯氧磷液体具有较高的饱和蒸汽压,在进行扩散工艺时,由氮气等惰性气体进入装有三氯氧磷的源瓶并携带汽化的三氯氧磷进入扩散炉。
如图1所示,装有三氯氧磷的源瓶包括短管阀V1和长管阀V2,短管阀V1通过短管P1连接至瓶体,长管阀V2通过长管P2连接至瓶体,该长管P2伸入瓶内腔底部且没入液体中,短管阀V1和长管阀V2分别具有对应的出入口G1和G2。在进行扩散工艺时,将氮气等惰性气体连接至长管阀V2的出入口G2,将短管阀V1的出入口G1连通至扩散炉管,开启短管阀V1和长管阀V2后,惰性气体从长管阀V2进入源瓶并对瓶内的三氯氧磷液体进行鼓泡,三氯氧磷的饱和蒸汽压较高易汽化,汽化后的三氯氧磷就由惰性气体携带至扩散炉管。
为保持工艺的稳定性和连续性,通常会出现源瓶中的三氯氧磷未用完而残留的状况,三氯氧磷为剧毒且其易挥发,将其阀门打开采用人工方式将源瓶中的三氯氧磷进行回收利用非常不安全。为提高三氯氧磷的使用效率且避免其残留浪费,现有技术中采用向瓶中放入特氟隆小块等填充物的方式或将源瓶倾斜的方式,但该两种方并未解决三氯氧磷液体残留的问题,并且还会带来其他问题,前种方式不利于源瓶后期的清洁和维护,后种方式需要改变所对应的保温装置的设计,从而增大了成本。
因此,如何提供一种液体余液回收装置及回收方法以将源瓶中残留的三氯氧磷等液体进行回收利用,从而降低生产成本。
发明内容
本发明的目的之一是克服现有技术中存在的不足,提供一种可以把用不完的原液通过转移汇聚重新利用,以提高18%左右的利用率,节省生产成本的液体余液回收装置。
本发明的另一目的是提供一种使用液体余液回收装置进行余液回收的方法。
按照本发明提供的技术方案,所述液体余液回收装置,包括主液瓶,主液瓶上固定设置有主液瓶短管阀与主液瓶长管阀,主液瓶短管阀通过短管连接至瓶体,并具有出入口,主液瓶长管阀通过长管连接至瓶体,所述长管伸入主液瓶的瓶内腔底部,还包括:
回收瓶,其上固定设置有回收瓶短管阀与回收瓶长管阀,回收瓶短管阀上设置有出入口,回收瓶的最高容许液面低于或等于主液瓶的瓶底;
连接管,其一端与主液瓶长管阀的出入口相连接,另一端与回收瓶长管阀的出入口相接;以及
驱动器,其用于提供液体由主液瓶流向回收瓶的原动力。
所述回收瓶长管阀通过长管连接至瓶体,该长管伸入回收瓶的瓶内腔底部。
所述驱动器为吸液器或压液器,吸液器连接至回收瓶短管阀的出入口,压液器连接至主液瓶短管阀的出入口。
使用上述液体余液回收装置的液体余液回收方法包括以下步骤:
a、将连接管一端连至主液瓶长管阀的出入口,另一端连至回收瓶长管阀的出入口;
b、使回收瓶的最高容许液面低于或等于主液瓶的瓶底;
c、开启主液瓶短管阀与主液瓶长管阀以及回收瓶短管阀与回收瓶长管阀;
d、提供液体由主液瓶流向回收瓶的原动力。
在步骤d中,通过开启连接至回收瓶出入口的吸液器提供液体由主液瓶流向回收瓶的原动力。
在步骤d中,通过开启连接至主液瓶出入口的压液器提供液体由主液瓶流向回收瓶的原动力。
本发明可以方便地把用不完的原液通过转移汇聚重新利用,以提高利用率,避免浪费,而且本发明具有结构简单、操作方便、余液转移彻底等优点。
附图说明
图1是背景技术介绍的源瓶的结构示意图。
图2是本发明的液体余液回收装置的整体结构示意图。
图3是本发明的液体余液回收方法的流程图。
具体实施方式
下面结合具体附图和实施例对本发明作进一步说明。
如图所示:所述液体余液回收装置,包括主液瓶1,主液瓶1上固定设置有主液瓶短管阀1.1与主液瓶长管阀1.2,主液瓶短管阀1.1通过短管连接至瓶体,并具有出入口1.3,主液瓶长管阀1.2通过主液瓶长管1.4连接至瓶体,该长管伸入主液瓶1的瓶内腔底部,还包括:
回收瓶3,其上固定设置有回收瓶短管阀3.1与回收瓶长管阀3.2,回收瓶短管阀3.1上设置有出入口3.3,回收瓶3的最高容许液面低于或等于主液瓶1的瓶底;
连接管2,其一端与主液瓶长管阀1.2的出入口相连接,另一端与回收瓶长管阀3.2的出入口相接;以及
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的