[发明专利]光伏电池衬底及其制造方法

权利要求书

1.一种光伏电池衬底，包括：

透明衬底；以及

透明导电膜，其中所述透明导电膜包括掺有杂质的氧化锌且被形成在所述透明衬底之上，并且表面电荷激活层通过快速热退火被形成在所述透明导电膜的表面上。

2.根据权利要求1所述的光伏电池衬底，其中所述杂质包括从由镓、铝、硅、铟、碳、硫和氮组成的组中选出的一种或多种。

3.一种制造光伏电池衬底的方法，包括：

准备透明衬底；

使用掺有杂质的氧化锌在所述透明衬底之上形成透明导电膜；以及

通过以不超出所述透明衬底的软化温度的温度对所述透明导电膜快速热退火10秒到30分钟范围的时间段，在所述透明导电膜的表面上形成电荷激活层。

4.根据权利要求3所述的方法，其中所述透明衬底是玻璃，并且其中所述电荷激活层通过以200℃到650℃范围的温度对透明导电膜进行快速热退火而形成在所述透明导电膜的表面上。

5.根据权利要求3所述的方法，其中所述透明导电膜在氮气或氩气中被快速热退火。

6.根据权利要求3所述的制造光伏电池的方法，其中所述杂质包括从由镓、铝、硅、铟、碳、硫和氮组成的组中选出的一种或多种。