[发明专利]一种无灯丝等离子体溢流枪电荷中和体系结构无效
| 申请号： | 201010243486.3 | 申请日： | 2010-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN102347196A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 邱小莎;孙勇;钟新华;罗宏洋;王迪平;彭立波 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 灯丝 等离子体 溢流 电荷 中和 体系结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种无灯丝等离子体溢流枪电荷中和体系结构，其特征在于：一个射频电源，一个气体源，一个加长的放电起弧室，一个引出电极，一个引出电源和一个溢流枪控制器组成了无灯丝等离子体溢流枪的体系结构。
2.如权利要求1所述的一种无灯丝等离子体溢流枪电荷中和体系结构，其特征在于：所述的射频电源为该结构的激励源，采用的是无灯丝设计结构。
3.如权利要求1所述的一种无灯丝等离子体溢流枪电荷中和体系结构，其特征在于：所述的加长的放电起弧室其特点在于“加长”，其下侧有一条长度可覆盖晶圆片直径的狭长缝隙。
4.如权利要求1所述的一种无灯丝等离子体溢流枪电荷中和体系结构，其特征在于：所述的溢流枪控制器可对射频电源、气体源和引出电源进行有效控制，使溢出的中和电荷为低能电子。
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