[发明专利]离子注入机专用300KEV能量探头

说明书

技术领域

本发明，涉及高压分压和高压绝缘技术，属于半导体器件制造设备及高压测量领域。 

背景技术

集成电路制造技术的飞速发展，对各半导体工艺设备提出了更高的要求。离子注入机作为半导体离子掺杂工艺线的关键设备之一，也提出了很高的要求，尤其是在束流指标、束注入能量范围及纯度、注入深度控制、注入均匀性与生产率等方面也受到非常严峻的挑战。 

其中，离子注入机的能量指标，是注入机中最重要的技术指标之一。那么如何精确测量离子能量尤为重要。 

发明内容

本发明通过以下技术方案实现： 

离子注入机专用300KEV能量探头： 

原理图如图1所示：300KEV能量探头由40个75MΩ高精度高压电阻和一个100。1K Ω构成一个分压比为30000∶1的高压取样电路，2个保护瞬态用于保护探头的输出插座没有连接好时保护其输出电压不会超过其保护电压值。为了满足探头的耐压要求，将40个高压电阻均匀安装在一个PCB板上，并采用小形均压环使得探头从高压端到地端电场颁布均匀，并将PCB板安装在一个PP绝缘筒内，避免了电阻之间或电阻对空气因放电所造成的测量精度及线性度的误差。 

本发明具有如下显著优点：能量测量精度及线性度高，优于0。1％；结构简单合理，无放电现象；无油无其他绝缘填充物，重量轻。 

附图说明

图1300KEV能量窗框头测量原理 

图2300KEV能量探头PCB板图 

图3300KEV探头装配图 

具体实施方式

下面结合附图2和3具体实施例对本发明作进一步介绍，但不作为对本发明 的限定。 

图2为300KEV能量探头PCB板图。图2为300KEV探头装配图，将40个高压电阻均匀分布在PCB板1两面，并焊好，焊点圆滑，并将均压环焊2在PCB板上，同时将探头测量线6、接地端7在PCB板1焊好，然后将焊好的PCB板1插入绝缘筒3的导槽中，并在低压端用2个紧钉螺钉将PCB板1在绝缘筒3中固定。用四个金属螺钉将金属固定底座4拧到绝缘筒3上，用四个绝缘螺钉绝缘盖5拧到绝缘筒3的高压端，并用用电缆锁头将高压测量线锁紧。 

以上所述已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。