[发明专利]一种用石英砂法制备四氟化硅的方法

权利要求书

1.一种用石英砂法制备四氟化硅的方法，其原料包括金属氟化物和二氧化硅，其特征在于包括下述步骤：

1)在炉温为300～400℃条件下，将金属氟化物在煅烧炉中煅烧活化2～10分钟，得到活化金属氟化物；

2)将上述活化金属氟化物放入氟化氢反应炉中，加入重量百分浓度不低于95％的浓硫酸，所述浓硫酸与所述金属氟化物的摩尔比为1～3∶1，反应1～5分钟得到氟化氢气体；

3)将上述氟化氢气体，先在洗涤塔用重量百分浓度不低于95％的浓硫酸洗涤，再在冷凝器中冷却为-8℃的氟化氢液体；

4)将二氧化硅和重量百分浓度为80～90％的硫酸，按重量比1∶4～19预混，制成二氧化硅预混浆料；

5)将上述二氧化硅预混浆料和氟化氢液体与重量百分浓度为80～90％的硫酸，按重量比3∶4∶25的比例，放入四氟化硅反应器中，在60～90℃条件下，反应1.5～2.5小时，得到四氟化硅气体；

6)将上述四氟化硅气体在洗涤塔用重量百分浓度80～90％的硫酸洗涤，洗涤后压缩储存该四氟化硅气体。

2.如权利要求1所述的一种用石英砂法制备四氟化硅的方法，其特征在于所述的金属氟化物为氟化钙，在步骤2中，所述浓硫酸与所述氟化钙的摩尔比为1.2～1.6∶1。

3.如权利要求1所述的一种用石英砂法制备四氟化硅的方法，其特征在于所述的金属氟化物为四氟化铝钠，在步骤2中，所述浓硫酸与所述四氟化铝钠的摩尔比为2.3～2.8∶1。

4.如权利要求1所述的一种用石英砂法制备四氟化硅的方法，其特征在于在步骤4中，所述硫酸的浓度为83～86％，所述二氧化硅和所述硫酸的重量比1∶8～12。

5.如权利要求1所述的一种用石英砂法制备四氟化硅的方法，其特征在于在步骤5中，所述硫酸的浓度为83～86％，反应时间为2小时。