[发明专利]微型化非晶软磁合金磁芯螺线管磁通门传感器

权利要求书

1.一种微型化非晶软磁合金磁芯螺线管磁通门传感器，其特征在于，包括：衬底、激励线圈、感应线圈、非晶磁芯、电极、聚酰亚胺保护膜，非晶磁芯上对称绕制两组相连的三维螺线管激励线圈，与激励线圈垂直绕制一组三维螺线管感应线圈，激励线圈和感应线圈均通过聚酰亚胺保护膜与非晶磁芯绝缘隔离，激励线圈和感应线圈均位于衬底上，激励线圈和感应线圈两端都连接电极。

2.根据权利要求1所述的微型化非晶软磁合金磁芯螺线管磁通门传感器，其特征是，所述的衬底为硅片。

3.根据权利要求1所述的微型化非晶软磁合金磁芯螺线管磁通门传感器，其特征是，所述的激励线圈和感应线圈结构一致，均由底层线圈、顶层线圈通过连接导体连接形成。

4.根据权利要求1或者3所述的微型化非晶软磁合金磁芯螺线管磁通门传感器，其特征是，所述的激励线圈和感应线圈，两组相连的激励线圈在非晶磁芯相互平行的两边上对称绕制，感应线圈在平面内垂直于激励线圈绕制在非晶磁芯另外两条边上。

5.根据权利要求3所述的微型化非晶软磁合金磁芯螺线管磁通门传感器，其特征是，所述的非晶磁芯为通非晶合金薄带粘贴在位于底层线圈和顶层线圈之间的聚酰亚胺保护膜上，形成矩形非晶磁芯。

6.根据权利要求1所述的微型化非晶软磁合金磁芯螺线管磁通门传感器，其特征是，所述的聚酰亚胺保护膜，非晶磁芯、激励线圈和感应线圈均由聚酰亚胺保护膜绝缘、支撑并完全包覆固定为一个整体，与空气隔离。

7.根据权利要求1所述的微型化非晶软磁合金磁芯螺线管磁通门传感器，其特征是，所述的电极，通过刻蚀聚酰亚胺保护膜形成，电极单独暴露以连接与激励线圈和感应线圈接口电路。