[发明专利]一种低损耗介质加载型表面等离子激元光波导

权利要求书

1.一种同时具备低传输损耗和较强场约束能力的介质加载型表面等离子激元光波导结构，其横截面包括金属基底层、位于金属基底层上的高折射率介质区域、被高折射率介质区域和金属基底层包围的低折射率介质区域、以及包层；其中，高折射率介质区域的宽度范围为所传输光信号的波长的0.06-0.4倍，高度范围为所传输的光信号的波长的0.06-0.4倍，低折射率介质区域与金属基底层相接，且低折射率介质区域的宽度范围为所传输光信号的波长的0.01-0.39倍，高度范围为所传输的光信号的波长的0.01-0.3倍；高折射率介质的材料折射率高于低折射率介质以及包层的材料折射率，低折射率介质和包层的材料可为相同材料或不同材料，低折射率介质和包层的材料折射率的最大值与高折射率介质的材料折射率的比值小于0.75。

2.根据权利要求1所述的光波导结构，其特征在于，所述结构中金属层的材料为能产生表面等离子激元的金、银、铝、铜、钛、镍、铬中的任何一种、或是各自的合金、或是不同金属层复合的材料。

3.根据权利要求1所述的光波导结构，其特征在于，所述结构中高折射率介质区域与低折射率介质区域共同构成的区域的截面的外轮廓形状为正方形、矩形、或梯形中的任何一种。

4.根据权利要求1所述的光波导结构，其特征在于，所述结构中低折射率介质区域的截面的形状为正方形、矩形、圆形、椭圆形或梯形中的任何一种。