[发明专利]玻璃基板搬运载具无效
| 申请号： | 201010237867.0 | 申请日： | 2010-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN102339778A | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 黄信伟 | 申请（专利权）人： | 杜邦太阳能有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 陈红 |
| 地址： | 中国香港新界白石角香港科学园*** | 国省代码： | 中国香港;81 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃 基板搬 运载 | ||
【权利要求书】：
1.一种玻璃基板搬运载具，其特征在于，包含：
一基座；
一玻璃载台，用以吸附一玻璃基板；
一升降装置，设置于该基座与该玻璃载台之间；
一翻转机构，设置于该升降装置与该玻璃载台之间；
一旋转机构，设置于该翻转机构与该升降机构之间；以及
一伸缩机构，设置于该翻转机构与该玻璃载台之间。
2.如权利要求1所述的玻璃基板搬运载具，其特征在于，还包含一移动机构，设置于该基座上。
3.如权利要求1所述的玻璃基板搬运载具，其特征在于，该玻璃载台还包含多个吸盘以及多个吸气孔。
4.如权利要求1所述的玻璃基板搬运载具，其特征在于，该升降机构为一气压缸、一油压缸，或一螺杆。
5.如权利要求1所述的玻璃基板搬运载具，其特征在于，该伸缩机构包含一轨道与一滑动件，该轨道延伸自该翻转机构，该滑动件设置于该轨道上并相对于该轨道滑动，该滑动件与该玻璃载台连接。
6.如权利要求1所述的玻璃基板搬运载具，其特征在于，还包含一太阳能电池，设置于该基座上。
7.如权利要求1所述的玻璃基板搬运载具，其特征在于，还包含一控制面板，以操控该玻璃基板搬运载具。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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