[发明专利]一种基于MEMS技术的压力开关

权利要求书

1.一种基于MEMS技术的压力开关，包括底座(3)及位于底座(3)上的管帽(7)；所述管帽(7)对应于与底座(3)相连的另一端设有引压口(9)；底座(3)对应于邻近管帽(7)的端部设有凹槽(27)，底座(3)的另一端设有电缆孔(29)，所述电缆孔(29)与凹槽(27)、引压口(9)均相连通；电缆孔(29)内设有电缆(6)；其特征是：所述凹槽(27)内设有转接组件(2)，所述转接组件(2)上设有敏感组件(1)；所述转接组件(2)包括支撑体(24)，所述支撑体(24)的中心区设有下导流孔(21)，支撑体(24)上设有导电柱(25)；所述敏感组件(1)包括固支体(17)及位于所述固支体(17)上的硅片(11)；所述硅片(11)对应于与固支体(17)相连的另一端表面设有金属层(12)，硅片(11)对应于邻近固支体(17)的端部凹设有弹性槽(19)，所述弹性槽(19)间形成凸台(20)，所述凸台(20)上设有上电极(14)；固支体(17)的中心区设有上导流孔(18)，上导流孔(18)与下导流孔(21)相连通；固支体(17)两端的表面及上导流孔(18)的内壁形成下电极(16)；所述下电极(16)及金属层(12)分别通过内引线(8)与支撑体(24)上对应的导电柱(25)电连接；导电柱(25)对应于与内引线(8)相连的另一端分别与电缆(6)内对应的连接导线(31)电连接。

2.根据权利要求1所述基于MEMS技术的压力开关，其特征是：所述底座(3)对应于设置电缆孔(29)的端部设有紧固件(4)；电缆(6)的一端穿出紧固件(4)后，并与紧固件(4)相紧固连接。

3.根据权利要求2所述基于MEMS技术的压力开关，其特征是：所述紧固件(4)内设有密封圈(5)，所述密封圈(5)套在电缆(6)上。

4.根据权利要求1所述基于MEMS技术的压力开关，其特征是：所述支撑体(24)对应于与硅片(11)相连的端部设有导电覆板(23)，所述导电覆板(23)与导电柱(25)间设有绝缘子(22)；固支体(17)对应于设置下电极(16)的端部与导电覆板(23)相电连接；下电极(16)通过导电覆板(23)及内引线(8)与对应的导电柱(25)相电连接。

5.根据权利要求1所述基于MEMS技术的压力开关，其特征是：所述电缆(6)内设有导气管(32)，所述导气管(32)的一端位于凹槽(27)内，并与上导流孔(18)及下导流孔(21)相连通。

6.根据权利要求1所述基于MEMS技术的压力开关，其特征是：所述凹槽(27)的内周面上设有若干固支台阶(28)，所述转接组件(2)安装在凹槽(27)的固支台阶(28)上。

7.根据权利要求1所述基于MEMS技术的压力开关，其特征是：所述硅片(11)为N型单晶硅片。

8.根据权利要求1所述基于MEMS技术的压力开关，其特征是：所述固支体(17)为PYREX玻璃或单晶硅。 

9.根据权利要求1所述基于MEMS技术的压力开关，其特征是：所述金属层(12)的材料为铝、铜、金或银；所述金属层(12)蒸镀在硅片(11)上。