[发明专利]晶圆清洗甩干机

权利要求书

1.一种晶圆清洗甩干机，包括：

固定装置，用于夹持所述晶圆；

喷水装置，向被所述晶圆喷水，对所述晶圆的表面进行冲洗；

旋转装置，带动所述固定装置进行旋转，以甩去所述晶圆上的水；

上罩，设置在所述固定装置上方，用来防止由所述晶圆甩出的水在晶圆上方任意飞溅；

分水罩，设置在所述晶圆的上方，用来将所述晶圆向上方甩出的水导出；

其特征在于，

在所述上罩下方还设有喷吹装置。

2.根据权利要1所述的晶圆清洗甩干机，其特征在于，所述喷吹装置包括：

导气管，其上设有多个喷气孔；

喷气动力装置，其用来将气体输送至所述导气管中并由多个所述喷气孔喷出，喷出的所述气体可将晶圆向上方的水吹向所述分水罩。

3.根据权利要2所述的晶圆清洗甩干机，其特征在于，多个所述喷气孔的直径为0.1-0.2毫米。

4.根据权利要2所述的晶圆清洗甩干机，其特征在于，多个所述喷气孔在所述导气管上等间距排列，间距为6-10毫米。

5.根据权利要2所述的晶圆清洗甩干机，其特征在于，多个所述喷气孔喷吹的气体的压力为1-3磅/平方英寸。

6.根据权利要3-5任一所述的晶圆清洗甩干机，其特征在于，所述导气管中用来喷吹的气体为氮气。

7.根据权利要3-5任一所述的晶圆清洗甩干机，其特征在于，所述上罩在所述旋转装置工作时可以水平移动至靠近晶圆的位置。