[发明专利]一种惰性气体萃取和分离的制样系统及其应用

权利要求书

1.一种惰性气体萃取和分离的制样系统，由抗腐蚀的金属管线、阀门、连接组件、烘箱(1)和系统支架(16)组成；其特征在于：

烘箱(1)由前、后、左、右和顶部面板组合而成，放置于系统支架(16)的顶部面板上；

系统支架(16)为一箱体，左机械泵(14)和右机械泵(14′)分别置于系统支架箱内，左机械泵(14)通过左电磁隔断放气阀(13)、左低真空规管(12)、左不锈钢波纹管(7)和不锈钢直管(6)连接，不锈钢直管(6)穿过系统支架箱顶板分别通过阀门V₃和阀门V₄与第一三通(22)和第二三通(22′)的下端连接，第一三通(22)和第二三通(22′)通过阀门V₆连通，第一三通(22)通过阀门V₅与进气口(5)连接，第二三通(22′)通过第一主管线(4)、阀门V₇与位于烘箱内的第一活性碳炉(34)连接；

右机械泵(14′)通过右电磁隔断放气阀(13′)、快卸四通(15)分别连接分子泵(11)、右低真空规管(12′)、右不锈钢波纹管(7′)；右不锈钢波纹管(7′)通过阀门V₂₄与位于系统支架箱内的低温制冷器(18)连接；

分子泵(11)的分子泵接管(9)穿过系统支架箱顶板与位于烘箱内的阀门V₁₂连接；

低温制冷器(18)穿过系统支架箱顶板通过位于烘箱内的阀门V₂₃与第四主管线(30)连接；惰性气体同位素质谱主机(37)通过阀门V₂₀与第四主管线(30)连接；四极质谱(33)通过阀门V₂₂与第四主管线(30)连接；

第一主管线(4)连接有阀门V₇、薄膜规(3)，通过阀门V₈与第二主管线(25)连接；第二主管线(25)连接有阀门V₉、高真空规管(2)、阀门V₁₁、阀门V₁₀、阀门V₁₂、阀门V₁₃，通过阀门V₁₄与第三主管线(28)连接，第三主管线(28)连接有阀门V₁₅、离子真空规(17)、阀门V₁₆、阀门V₁₇、压杆阀组件(29)，通过阀门V₂₁、压杆阀组件(29)的右端阀门V₁₉分别与第四主管线(30)相连；第四主管线(30)连接有阀门V₂₀、阀门V₂₂与阀门V₂₃；

第一活性碳炉(34)与阀门V₇连接，第二活性碳炉(34′)与阀门V₁₁连接，锆基炉(36)与阀门V₁₀连接，海绵钛炉(35)与阀门V₁₃连接，第三活性碳炉(34″)与阀门V₁₆连接，离子泵(20)与阀门V₁₅连接、吸气剂泵(21)与阀门V₁₇连接，分子泵(11)与阀门V₁₂连接。

2.根据权利要求1所述的惰性气体萃取和分离的制样系统，其特征在于：所述的烘箱(1)的长度为1000-1500mm，宽度为600-800mm，高度为550-750mm。

3.根据权利要求1所述的惰性气体萃取和分离的制样系统，其特征在于：所述的系统支架(16)的长度为1500-2300mm，宽度为800-1000mm，高度为900-1000mm。

4.根据权利要求1所述的惰性气体萃取和分离的制样系统，其特征在于：所述的第一活性碳炉(34)、第二活性碳炉(34′)、第三活性碳炉(34″)的炉体为不锈钢，内置活性碳，去气温度为380-420℃，工作在室温或液氮温度下，采用K型热电偶测温控温。

5.根据权利要求1所述的惰性气体萃取和分离的制样系统，其特征在于：所述的海绵钛炉(35)炉体为不锈钢，内置钛金属颗粒，采用铠装加热丝加热，去气温度为950-1050℃，工作温度为800℃，测温控温采用S型铂铑铂热电偶。