[发明专利]石英玻璃坩埚的搬运装置及搬运方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种在洁净的环境下夹持石英玻璃坩埚并使其移动的石英玻璃坩埚的搬运(handling)装置，特别是涉及一种能够牢固地夹持石英玻璃坩埚并使其可靠地移动的搬运装置。而且，本发明涉及一种使用所述搬运装置的搬运方法。

背景技术

一般来说，石英玻璃坩埚在制造后会被清洗、检查，并经包装等之后出货，但伴随半导体材料的高纯度化，要求将对石英玻璃坩埚的污染抑制在最小限度，在将石英玻璃坩埚用于单晶硅的提拉时，要进一步利用超纯水(ultrapure water)等进行清洗。另一方面，为了提高柴式长晶法(Czochralski method，Cz法)等的单晶硅的制造效率，存在石英玻璃坩埚的尺寸逐渐增大的倾向，因此，石英玻璃坩埚的操作并不容易，且制造后的检查及包装等的作业中也容易使石英玻璃坩埚受到污染。特别是当利用两个作业人员来对石玻璃坩埚进行搬运并包装时，石英玻璃坩埚受到污染的危险性较高。为了避免此种问题，在专利文献1中公开了内容：在石英玻璃坩埚的清洗后，在洁净状态下机械包装石英玻璃坩埚。

[现有技术文献]

[专利文献1]

专利文献1：日本专利特开2000-219207号公报

然而，在对石英玻璃坩埚，尤其是例如直径大于等于63cm的大型石英玻璃坩埚进行机械包装时的搬运操作并不容易。一般来说，在对石英玻璃坩埚进行机械包装时，以现行的规格，是在洁净的环境下，在利用洁净度高的清洁袋进行一层包装之后，利用洁净度低于清洁袋的普通袋至少再进行一层包装。因此，一旦对石英玻璃坩埚进行包装后，即便利用搬运装置一边提起坩埚一边使其旋转而进行搬运，但由于在坩埚与搬运装置之间，隔着容易滑动的聚乙烯(polyethylene)制等的包装构件，所以有可能出现因隔着所述包装而无法利用搬运装置牢固地夹持坩埚进行处理的情况。另外，此处所述的“洁净的环境”，是指处于由美国的Federal Standard(联邦标准)209E所规定的级别10000(0.0283m³中存在的0.5微米的粒子小于等于10000个)的洁净度下的环境。

发明内容

对此，本发明的目的在于通过对至今尚未得到充分关注及研究的石英玻璃坩埚的搬运装置进行改良，从而提供一种即便例如对石英玻璃坩埚实施一层以上的包装也可牢固地夹持石英玻璃坩埚并使其可靠地移动的搬运装置。而且，本发明的另一目的在于提供一种使用所述搬运装置的石英玻璃坩埚的搬运方法。

为了达成所述目的，第一发明是一种石英玻璃坩埚的搬运装置，夹持石英玻璃坩埚并使其移动，其中：彼此相向的一对夹持单元，组装在框架所包括的一对臂部，且在坩埚的径方向上夹持石英玻璃坩埚的主体部，所述框架包括沿水平方向延伸的横梁，且所述一对臂部在相对于该横梁的中心轴线方向正交的方向上从该横梁突出且至少一个可沿该横梁的中心轴线方向移动；卡止单元，邻接于各夹持单元而设置，由在坩埚的中心轴线方向上夹住并卡止石英玻璃坩埚且可在坩埚的中心轴线方向上接近或离开的一对舌片构成；以及驱动单元，使所述框架沿石英玻璃坩埚的中心轴线来回运动。

而且，在第一发明中，优选还包括转动单元，该转动单元组装在所述臂部，通过一对夹持单元而使石英玻璃坩埚以沿与坩埚的中心轴线正交的方向延伸的假想线为轴线进行转动。

此外，在第一发明中，优选所述夹持单元至少包括一根辊，该辊的轴线沿所述坩埚的中心轴线方向延伸。此时，优选包括多根所述辊，该多根辊彼此离开。而且，优选所述辊在外周具有弹性层。

另外，在第一发明中，优选所述一对舌片中的至少一个舌片可在坩埚的中心轴线方向上摇动。

此外，在第一发明中，优选所述一对舌片包括弹性构件。

第二发明是一种石英玻璃坩埚的搬运方法，使用第一发明的石英玻璃坩埚的搬运装置来对石英玻璃坩埚进行处理，其中包括：在坩埚的径方向上夹住并夹持载置于基座的石英玻璃坩埚的主体部的工序；在坩埚的中心轴线方向上夹住并卡止石英玻璃坩埚的工序；提起石英玻璃坩埚的工序；将石英玻璃坩埚载置于基座的工序；以及解除石英玻璃坩埚的夹持及卡止的工序。

而且，在第二发明中，优选在所述提起石英玻璃坩埚的工序之后，还包括使石英玻璃坩埚转动的工序。

【发明的效果】

根据本发明，通过实现石英玻璃坩埚的搬运装置的结构的合理化，而可提供一种即便例如对石英玻璃坩埚实施一层以上的包装也可牢固地夹持石英玻璃坩埚并使其可靠地移动的搬运装置。还可提供一种使用所述搬运装置的石英玻璃坩埚的搬运方法。