[发明专利]电子回旋共振磁性模块与电子回旋共振装置

权利要求书

1.一种电子回旋共振磁性模块，包括：

多层导磁环体，每一个导磁环体具有内环壁与外环壁，每一个导磁环体内开设有多个径向孔；以及多个磁柱，其分别嵌入于该多层导磁环体所具有的径向孔内，其中，相邻的两导磁环体内的磁柱，所具有的磁场方向相反。

2.如权利要求1所述的电子回旋共振磁性模块，其中该多层导磁环体的外围还设置有导磁套筒。

3.如权利要求2所述的电子回旋共振磁性模块，其中该导磁套筒的材质为硅钢或者是软铁。

4.如权利要求2所述的电子回旋共振磁性模块，其产生至少875高斯的磁场。

5.如权利要求1所述的电子回旋共振磁性模块，其中该多层的数量为偶数。

6.如权利要求1所述的电子回旋共振磁性模块，其中该多层的数量为奇数。

7.如权利要求1所述的电子回旋共振磁性模块，每一个径向孔贯通该内环壁与该外环壁。

8.如权利要求1所述的电子回旋共振磁性模块，相邻的导磁环体间通过一支撑结构而保持有一间距。

9.如权利要求1所述的电子回旋共振磁性模块，其中该磁柱的截面为圆形、椭圆、多边形、具有曲度的截面轮廓或者是具有曲度以及线性侧边组合的轮廓。

10.如权利要求1所述的电子回旋共振磁性模块，其中在同一导磁环体内的全部磁柱，所具有的磁场方向均相同。

11.如权利要求1所述的电子回旋共振磁性模块，其中导磁环体外径为15厘米，磁柱长度为3厘米，直径为2厘米，每一个磁柱充磁至5000高斯。

12.一种电子回旋共振装置，包括：

腔体；

波导模块，其与该腔体相耦接；

石英罩，其设置于该腔体内；

磁性模块，其环设于该腔体的外围，该磁性模块具有多层导磁环体以及多个磁柱，该多层导磁环体，每一个导磁环体具有内环壁与外环壁，每一个导磁环体内开设有多个径向孔，该多个磁柱，其分别嵌入于该多层导磁环体所具有的径向孔内，其中，相邻的两导磁环体内的磁柱，所具有的磁场方向相反；以及

承载台，其设置于该腔体内。

13.如权利要求12所述的电子回旋共振装置，其中该多层导磁环体的外围还设置有导磁套筒。

14.如权利要求13所述的电子回旋共振装置，其中该导磁套筒的材质为硅钢或者是软铁。

15.如权利要求13所述的电子回旋共振装置，其中该磁性模块产生至少875高斯的磁场。

16.如权利要求12所述的电子回旋共振装置，其为横向电场电子回旋共振装置。

17.如权利要求12所述的电子回旋共振装置，其为横向磁场电子回旋共振装置。

18.如权利要求12所述的电子回旋共振装置，其于大气压力5x10-5托尔以上及一定的微波功率下产生等离子体以于设置于该承载台上的基材形成大面积的镀膜。

19.如权利要求18所述的电子回旋共振装置，其中该镀膜层为石墨烯。

20.如权利要求12所述的电子回旋共振装置，其中该多层的数量为偶数。

21.如权利要求12所述的电子回旋共振装置，其中该多层的数量为奇数。

22.如权利要求12所述的电子回旋共振装置，每一个径向孔贯通该内环壁与该外环壁。

23.如权利要求12所述的电子回旋共振装置，相邻的导磁环体间通过一支撑结构而保持有一间距。

24.如权利要求12所述的电子回旋共振装置，其中该磁柱的截面为圆形、椭圆、多边形、具有曲度的截面轮廓或者是具有曲度以及线性侧边组合的轮廓。

25.如权利要求12所述的电子回旋共振装置，其中在同一导磁环体内的全部磁柱，所具有的磁场方向均相同。

26.如权利要求12所述的电子回旋共振装置，其中导磁环体外径为15厘米，磁柱长度为3厘米，直径为2厘米，每一个磁柱充磁至5000高斯。