[发明专利]化学机械研磨装置以及化学机械研磨方法无效
| 申请号： | 201010229401.6 | 申请日： | 2010-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN102335868A | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 唐强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 装置 以及 方法 | ||
1.一种化学机械研磨装置，包括：
研磨平台；
驱动装置，与所述研磨平台连接，用于驱动所述研磨平台旋转；
传感器，与所述研磨平台连接，用于测量所述研磨平台的转速并将所述转速转换为转速信号；
控制器，与所述传感器连接，用于接收所述传感器输出的转速信号并根据所述转速信号输出报警信号，以启动报警装置报警。
2.如权利要求1所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述研磨平台包括平台主体以及与所述平台主体连接的转轴，所述传感器与所述转轴连接。
3.如权利要求1所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述传感器通过一接线头与所述控制器连接。
4.如权利要求1至3中任意一项所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述传感器为转速传感器。
5.如权利要求4所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述驱动装置包括：驱动马达、驱动滑轮以及驱动皮带，所述驱动滑轮与所述驱动马达固定连接，所述驱动皮带缠绕在所述驱动滑轮以及研磨平台上。
6.一种化学机械研磨方法，包括：
利用驱动装置驱动研磨平台旋转；
利用传感器测量所述研磨平台的转速并将所述转速转换为转速信号；
利用控制器接收所述传感器输出的转速信号；
所述控制器根据所述转速信号输出报警信号，以启动报警装置报警。
7.如权利要求6所述的化学机械研磨方法，其特征在于，所述研磨平台包括平台主体以及与所述平台主体连接的转轴，所述传感器与所述转轴连接。
8.如权利要求6所述的化学机械研磨方法，其特征在于，所述传感器通过一接线头与所述控制器连接。
9.如权利要求6至8中任意一项所述的化学机械研磨方法，其特征在于，所述传感器为转速传感器。
10.如权利要求9所述的化学机械研磨方法，其特征在于，所述驱动装置包括：驱动马达、驱动滑轮以及驱动皮带，所述驱动滑轮与所述驱动马达固定连接，所述驱动皮带缠绕在所述驱动滑轮以及研磨平台上。
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