[发明专利]CIGS太阳能电池制程的设备及方法

权利要求书

1.一种用于CIGS太阳能电池制程的设备，其特征在于，包含：

一缓冲腔体；

一第一腔体，邻设于该缓冲腔体并具有一镀膜沉积装置；

一第二腔体，邻设于该缓冲腔体并具有一热处理装置，其中该热处理装置包含：

一基座，用以定位一基板；

一储存槽，设于该第二腔体外，用以容置一熔融材料；

一第一加热器，用以加热该熔融材料；以及

一导引管，该导引管的一端枢接于该储存槽，另一端位于该第二腔体中；以及

一盖板，该盖板设置于该导引管位于该第二腔体中的开口端所对应处，其中该盖板还设有一可调式开孔；

一机械装置，用以带动该基板往复移动于该缓冲腔体、该第一腔体以及该第二腔体间。

2.根据权利要求1所述的一种用于CIGS太阳能电池制程的设备，其特征在于，还包含：

一第二加热器，位于该导引管的外侧。

3.根据权利要求2所述的一种用于CIGS太阳能电池制程的设备，其特征在于，该第二加热器为一加热线圈。

4.根据权利要求1所述的一种用于CIGS太阳能电池制程的设备，其特征在于，该第二腔体的内壁与外壁间形成的封闭空间，为真空。

5.根据权利要求1所述的一种用于CIGS太阳能电池制程的设备，其特征在于，该缓冲腔体、该第一腔体以及该第二腔体为真空腔体。

6.根据权利要求1所述的一种用于CIGS太阳能电池制程的设备，其特征在于，该缓冲腔体、该第一腔体以及该第二腔体间对应连通处枢设一真空阀门。

7.根据权利要求1所述的一种用于CIGS太阳能电池制程的设备，其特征在于，该热处理装置的该基座为旋动式。

8.根据权利要求1所述的一种用于CIGS太阳能电池制程的设备，其特征在于，该基座还设有一加热器。

9.根据权利要求1所述的一种用于CIGS太阳能电池制程的设备，其特征在于，该储存槽包含一投料孔。

10.根据权利要求1所述的一种用于CIGS太阳能电池制程的设备，其特征在于，该储存槽的熔融材料为硒或硫。

11.根据权利要求1所述的一种用于CIGS太阳能电池制程的设备，其特征在于，该第一加热器为一加热线圈。

12.根据权利要求1所述的一种用于CIGS太阳能电池制程的设备，其特征在于，该可调式开孔是呈阵列式分布。

13.根据权利要求1所述的一种用于CIGS太阳能电池制程的设备，其特征在于，该盖板还包含一加热线圈。

14.根据权利要求1所述的一种用于CIGS太阳能电池制程的设备，其特征在于，该热处理装置还包含：

一隔热槽，该隔热槽环设于该储存槽与该导引管接近储存槽一端的外侧。

15.根据权利要求14所述的一种用于CIGS太阳能电池制程的设备，其特征在于，该热处理装置还包含：

一冷却管，该冷却管环设于该隔热槽的外侧。

16.根据权利要求14所述的一种用于CIGS太阳能电池制程的设备，其特征在于，该缓冲腔体包含一温度调整装置。

17.一种用于CIGS太阳能电池制程的方法，其特征在于，其步骤包含：

(a)通过一机器装置将一基板移动至一第一腔体，经由一镀膜沉积方式形成一含钼的下电极于该基板上；

(b)通过该机器装置将(a)完成的该基板移动至一第二腔体，使一熔融材料透过一热处理方式，穿过一盖板的多个可调式孔洞而沉积一薄膜于该下电极上；

(c)通过该机器装置又将(b)完成的该基板移动至该第一腔体，使一第一前驱层与一第二前驱层沉积于该薄膜之上；以及

(d)通过该机器装置再将(c)完成的该基板移动至该第二腔体，并进行热处理而形成含有CIGS的光吸收层。

18.根据权利要求17所述的一种用于CIGS太阳能电池制程的方法，其特征在于，该镀膜沉积方式可为原子层沉积、化学气相沉积、金属-有机化学气相沉积或物理气相沉积。