[发明专利]超高真空中压电陶瓷驱动柔性铰链的精密调节装置及方法

权利要求书

1.超高真空中压电陶瓷驱动柔性铰链的精密调节装置，包括光学元件座(4)和光学元件(5)，光学元件(5)固定在光学元件座(4)中，其特征在于，该精密调节装置还包括柔性铰链座(1)、第一压电陶瓷机构、第二压电陶瓷机构、第一柔性铰链(12)、第二柔性铰链(14)，柔性铰链座(1)中心处开有对应于光学元件座(4)的通孔(23)，所说的柔性铰链座(1)包括固定板(13)、第一调节动板(15)和第二调节动板(16)，光学元件座(4)被固定在第二调节动板(16)对应的通孔(23)内，第一调节动板(15)与第二调节动板(16)通过第二柔性铰链(14)相连，固定板(13)与第一调节动板(15)通过第一柔性铰链(12)相连，固定板(13)上开有对应于第一压电陶瓷(3)的第一压电孔(17)，第一压电陶瓷(3)固定在第一压电孔(17)内，所说的第一柔性铰链(12)装在固定板(13)的一端，与第一压电孔(17)呈三角形布置，所说的第一调节动板(15)与固定板(13)结构相同，第一调节动板(15)上的第二压电孔(18)与第一压电孔(17)呈垂直布置，所说的第二调节动板(16)水平方向上开有与通孔(23)相连通的两个互相垂直的固定孔(22)，固定孔(22)与压电孔对应。

2.根据权利要求1所述的超高真空中压电陶瓷驱动柔性铰链的精密调节装置，其特征在于，所说的第二柔性铰链(14)装在第一调节动板(15)的另一端，与第二压电孔(18)呈三角形布置，第一柔性铰链(12)和第二柔性铰链(14)也呈垂直布置。

3.根据权利要求1所述的超高真空中压电陶瓷驱动柔性铰链的精密调节装置，其特征在于，所说的第一压电陶瓷机构包括第一压电陶瓷支座(2)、第一压电陶瓷(3)、第一不锈钢球(11)、第一真空密封接线座(20)和第一真空窥入密封管道(21)，第一压电陶瓷(3)固定在第一压电陶瓷支座(2)的下端，第一不锈钢球(11)装在第一压电陶瓷(3)下端，第一不锈钢球(11)与第二调节动板(16)接触，真空绝缘导线(7)装在第一真空密封接线座(20)里，与第一压电陶瓷(3)的上端相连，真空绝缘导线(7)穿过第一压电陶瓷(3)的上端并通过第一真空窥入密封管道(21)导出真空外；所说的第二压电陶瓷机构包括第二压电陶瓷支座(6)、第二压电陶瓷(10)、第二不锈钢球(19)、第二真空密封接线座(9)和第二真空窥入密封管道(8)，第二压电陶瓷机构的结构与第一压电陶瓷机构的结构相同，第二不锈钢球(19)与第一调节动板(15)接触。

4.权利要求1所述的超高真空中压电陶瓷驱动柔性铰链的精密调节装置的应用方法，其特征在于，具体步骤如下：

1)超高真空中压电陶瓷驱动柔性铰链的精密调节装置接上电源，改变第一压电陶瓷支座(2)中第一压电陶瓷(3)的电信号使其发生伸缩，驱动柔性铰链座(1)内第二柔性铰链(14)沿着Z轴方向移动并沿着X轴旋转；

2)改变第二压电陶瓷支座(6)中第二压电陶瓷(10)的电信号使其发生伸缩，驱动柔性铰链座(1)内第一柔性铰链(12)沿着Z轴方向移动并沿着Y轴旋转；

3)根据超高真空中光学元件座(4)中光学元件(5)的空间位置要求再重复以上操作，调节光学元件座(4)中光学元件(5)的空间位置达到要求。