[发明专利]一种去除高熔点黏附剂的方法

权利要求书

1.一种去除高熔点黏附剂的方法，其特征在于，该方法包括：

步骤1：热板加热温度260～320℃，使用石英器皿，盛满1#清洗液，兆声清洗，2～3次，每次10～15分钟；

步骤2：热板加热温度200～260℃，使用石英器皿，盛满2#清洗液，兆声清洗，2～3次，每次10～15分钟；

步骤3：热板加热温度170～200℃，使用石英器皿，盛满3#清洗液，兆声清洗，2～3次，每次10～15分钟；

步骤4：热板加热温度145～170℃，使用石英器皿，盛满4#清洗液，兆声清洗，2～3次，每次10～15分钟；

步骤5：热板加热温度100～145℃，使用石英器皿，盛满5#清洗液，兆声清洗，2～3次，每次10～15分钟；

步骤6：热板加热温度80～100℃，使用石英器皿，盛满6#清洗液，兆声清洗，2～3次，每次10～15分钟；

步骤7：热板加热温度60～80℃，使用石英器皿，使用7#清洗液，沸煮2次，每次5～10分钟，之后用异丙醇、丙酮浸泡脱水5～10次，每次20～30秒，兆声清洗；

步骤8：热板加热温度60～80℃，使用石英器皿，盛满8#清洗液，兆声清洗，2～3次，每次10～15分钟；

步骤9：重复上述步骤7；

步骤10：热板加热温度40～60℃，使用石英器皿，盛满9#清洗液，兆声清洗，2～3次，每次10～15分钟；

步骤11：重复上述步骤7，使用ZDMAC去膜剂煮15～25分钟，温度40～60℃；

步骤12：使用全自动DI冲洗20～40次，再使用不加热的异丙醇、丙酮浸泡脱水3～5次，使用DI自动冲洗10～15次，用40～45℃热氮气吹干。

2.根据权利要求1所述的去除高熔点黏附剂的方法，其特征在于，步骤1中所述1#清洗液主要成分为邻苯二甲酸二乙酯，使用聚乙二醇(PEG200～700)作为增溶剂，使用稀释草酸和双氧水和氨水作为PH调节剂，PH值为6～9。

3.根据权利要求1所述的去除高熔点黏附剂的方法，其特征在于，步骤2中所述2#清洗液主要成分为乙酸癸酯和聚乙二醇(PEG)，使用乙二醇作为增溶剂，使用稀释草酸和双氧水和氨水作为PH调节剂，PH值6～9。

4.根据权利要求1所述的去除高熔点黏附剂的方法，其特征在于，步骤3中所述3#清洗液主要成分为乙酸庚酯和聚乙二醇(PEG)，使用乙二醇作为增溶剂，使用稀释草酸和双氧水和氨水作为PH调节剂，PH值6～9。

5.根据权利要求1所述的去除高熔点黏附剂的方法，其特征在于，步骤4中所述4#清洗液主要成分为乙酸己酯和辛酮，使用聚乙二醇(PEG200～700)作为增溶剂，使用稀释草酸和双氧水和氨水作为PH调节剂，PH值6～9。

6.根据权利要求1所述的去除高熔点黏附剂的方法，其特征在于，步骤5中所述5#清洗液主要成分为庚酮和乙酸己酯，使用聚乙二醇(PEG200～700)作为增溶剂，使用稀释草酸和双氧水和氨水作为PH调节剂，PH值6～9。

7.根据权利要求1所述的去除高熔点黏附剂的方法，其特征在于，步骤6中所述6#清洗液主要成分为乙酸丙酯和DI(去离子水)，使用乙二醇作为增溶剂，PEG600作为亲水剂，使用稀释草酸和双氧水和氨水作为PH调节剂，PH值6～9。

8.根据权利要求1所述的去除高熔点黏附剂的方法，其特征在于，步骤7中所述7#清洗液主要为三氯乙烯。

9.根据权利要求1所述的去除高熔点黏附剂的方法，其特征在于，步骤8中所述8#清洗液主要成分为DI和乙醇，使用聚乙二醇(PEG200～700)作为增溶剂，使用稀释草酸和双氧水和氨水作为PH调节剂，PH值6～9。

10.根据权利要求1所述的去除高熔点黏附剂的方法，其特征在于，步骤10中所述9#清洗溶剂主要成分为乙醇，使用聚乙二醇(PEG200～700)作为增溶剂，使用稀释草酸和双氧水和氨水作为PH调节剂，PH值6～9。