[发明专利]气体分配器和包括气体分配器的设备

权利要求书

1.一种用于一等离子设备的气体分配器，其包含：

一具有复数个注入孔的机体，所述机体相对于一中心部分被划分成一下部部分和一上部部分；和

一连接到所述下部部分的机体支撑单元；

其中所述中心部分是从所述机体的质量中心水平地延伸出的，其中所述机体支撑单元连接至所述机体的位于所述中心部分以下的所述下部部分。

2.根据权利要求1所述的气体分配器，进一步包含一连接至所述机体和所述机体支撑单元、用于减缓所述机体的热应力的减缓单元。

3.根据权利要求2所述的气体分配器，其中所述减缓单元具有小于所述机体的厚度且大于所述机体支撑单元的厚度的厚度。

4.根据权利要求2所述的气体分配器，其中所述机体支撑单元包括一连接到所述减缓单元的第一支撑单元和一垂直连接到所述第一支撑单元的第二支撑单元。

5.根据权利要求4所述的气体分配器，进一步包括一垂直连接到所述第二支撑部分并平行于所述第一支撑部分的第三支撑部分。

6.根据权利要求5所述的气体分配器，其中所述第一支撑部分、所述第二支撑部分和所述第三支撑部分具有相同的厚度。

7.根据权利要求1所述的气体分配器，其中所述减缓单元与所述机体的所述下部部分具有相同的厚度。

8.根据权利要求1所述的气体分配器，其中所述减缓单元的材料从所述机体的所述下部部分沿着与所述机体的下表面平行的线连续地延伸至所述机体支撑单元。

9.根据权利要求1所述的气体分配器，所述机体和所述机体支撑单元组成一单片形状。

10.根据权利要求1所述的气体分配器，其中所述机体和所述机体支撑单元包括铝。

11.根据权利要求1所述的气体分配器，其中所述机体支撑单元垂直连接到所述减缓单元。

12.根据权利要求1所述的气体分配器，其中所述机体具有一板形状。

13.一种等离子设备，其包含：

一处理衬底的处理腔室；

一上面具有所述衬底的基座；以及

一在所述衬底之上的气体分配器，所述气体分配器包含：

一具有复数个注入孔的机体，所述机体相对于一中心部分被划分成一下部部分和一上部部分；和

一连接到所述下部部分的机体支撑单元；

其中所述中心部分是从所述机体的质量中心水平地延伸出的，其中所述机体支撑单元连接至所述机体的位于所述中心部分以下的所述下部部分。