[发明专利]一种用于太赫兹波调制的结构材料无效

专利信息
申请号: 201010218977.2 申请日: 2010-07-07
公开(公告)号: CN101943803A 公开(公告)日: 2011-01-12
发明(设计)人: 文岐业;张怀武;杨青慧;刘颖力;李元勋 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: G02F1/00 分类号: G02F1/00
代理公司: 电子科技大学专利中心 51203 代理人: 葛启函
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 赫兹 调制 结构 材料
【权利要求书】:

1.一种用于太赫兹波调制的结构材料,包括介质基板(2)和附着于介质基板(2)表面的电磁共振器阵列(1);其特征在于,所述介质基板(2)是对太赫兹波高度透明的介质材料基板;所述电磁共振器阵列(1)是由多个相同形状和尺寸的电磁共振器单元构成的阵列,且每个电磁共振器单元由沉积于介质基板(2)表面的二氧化钒薄膜形成。

2.根据权利要求1所述的用于太赫兹波调制的结构材料,其特征在于,所述电磁共振器单元的形状是任意现有各种电磁共振器单元的形状。

3.根据权利要求1所述的用于太赫兹波调制的结构材料,其特征在于,所述二氧化钒薄膜的厚度在0.1~1微米之间,其沉积工艺可采用现有的各种薄膜沉积工艺。

4.根据权利要求1所述的用于太赫兹波调制的结构材料,其特征在于,所述对太赫兹波高度透明的介质材料基板是石英玻璃基板,其厚度在300~1000微米之间。

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