[发明专利]陶瓷材料密封环微构型准分子激光分层加工方法及装置

权利要求书

1.一种陶瓷材料密封环微构型准分子激光分层加工方法，其特征是：结合准分子激光密度及形状的因素将被加工陶瓷材料的表面三维形貌分层，并转化为NC代码；光路系统中配备数控光阑，结合被加工表面的NC代码，自动调整光阑形状、尺寸；激光聚焦采用圆形凸透镜和柱面镜，配合数控光阑控制加工形状、尺寸及去除量；针对光阑及焦距的变化，调节激光聚焦透镜后面遮光器，削弱陶瓷材料激光光斑边缘处的重熔区；光路系统中凸透镜的位置、光阑的尺寸和形状、圆形凸透镜和柱面镜的更换、遮光器的孔径尺寸及形状和工作台的运动通过计算机控制，使加工实现柔性化、自动化。

2.用于权利要求1所述加工方法的装置，包括反射镜；三轴联动工作台(3)、遮光器(4)、聚焦透镜(5)、光阑(6)、监测器(8)、凸透镜(9)、凹透镜(10)、内部吹气系统(12)、排气口(13)、窗口透镜(15)、保护罩(16)和进气口(17)；其特征在于，光束自激光器输入后经反射镜(2)和反射镜(11)后投射到凹透镜(10)，光束发散后经过凸透镜(9)再汇聚，使光束平行传输；光束经反射镜(7)后，沿垂直被加工材料表面方向传输；在反射镜(7)后设置光阑(6)调整光束形状；最终光束经透镜(5)聚焦和遮光器(4)后垂直投射到被加工材料表面。