[发明专利]二自由度平动并联解耦微动平台

权利要求书

1.一种二自由度平动并联解耦微动平台，压电陶瓷驱动器、工作平台以及固定机架，其特征在于，还包括：两个驱动支链及其对应的辅助支链，其中：两个驱动支链及其对应的辅助支链分别两两对称分布在工作平台的X方向和Y方向。

2.根据权利要求1所述的二自由度平动并联解耦微动平台，其特征是，所述的驱动支链包括：输入解耦平台、驱动支链中间平台、一级驱动铰链中间平台、二级驱动铰链中间平台和柔性铰链，其中：输入解耦平台与驱动支链中间平台通过柔性铰链活动连接，一级驱动铰链中间平台分别与驱动支链中间平台和固定机架通过柔性铰链活动连接，二级驱动铰链中间平台分别与工作平台和驱动支链中间平台通过柔性铰链活动连接。

3.根据权利要求1所述的二自由度平动并联解耦微动平台，其特征是，所述的辅助支链包括：辅助支链中间平台、一级辅助铰链中间平台、二级辅助铰链中间平台和柔性铰链，其中：一级辅助铰链中间平台分别与辅助支链中间平台和固定机架通过柔性铰链活动连接，二级辅助铰链中间平台分别与工作平台和辅助支链中间平台通过柔性铰链活动连接。

4.根据权利要求1所述的二自由度平动并联解耦微动平台，其特征是，所述的压电陶瓷驱动器的头部与驱动支链内的输入解耦平台相接触并施加力于输入解耦平台，压电陶瓷驱动器的底部与固定机架固定连接。