[发明专利]真空气相沉积设备

权利要求书

1.一种真空气相沉积设备，包括蒸发容器，该蒸发容器具有线性设置的多个排放孔，并且该蒸发容器通过两个端部侧上的所述排放孔的流导较大，并且其中，

所述蒸发容器被加热，以蒸发或升华包含在其中的蒸发材料，所述蒸发材料的蒸汽通过所述多个排放孔释放，并且

通过沿垂直于所述多个排放孔的设置方向的方向相对移动基板和所述蒸发容器，所述蒸发材料沉积在所述基板的整个表面上，该真空气相沉积设备包括：

所述蒸发容器在其中包括具有通过所述蒸汽的多个通孔的射流板，并且作为沿所述多个排放孔的所述设置方向的每单位长度的流导，通过所述通孔的流导形成为与通过所述排放孔的流导成比例。

2.根据权利要求1所述的真空气相沉积设备，其中，通过使所有的排放孔具有相同的面积并在所述蒸发容器的两个端部侧上密集设置所述排放孔，或者通过以相同的间距设置所述多个排放孔并使所述蒸发容器的两个端部侧上的所述排放孔具有较大的面积，使通过所述蒸发容器的两个端部侧上的所述排放孔的流导形成为较大。

3.根据权利要求1和2中任一项所述的真空气相沉积设备，其中，通过使所有的通孔具有相同的面积并在所述蒸发容器的两个端部侧上密集地设置所述通孔，或者通过以相同的间距设置所述多个通孔并使所述蒸发容器的两个端部侧上的所述通孔具有较大的面积，使通过所述通孔的流导与所述排放孔的流导成比例。

4.根据权利要求1和2中任一项所述的真空气相沉积设备，其中，通过所述排放孔的流导C2与通过所述通孔的流导C1的比率[C2/C1]设为5.0或更小，且优选设为2.0或更小。

5.根据权利要求1和2中任一项所述的真空气相沉积设备，其中，从所述排放孔至所述射流板的距离H2与所述蒸发容器内部的高度H1的比率[H2/H1]设为0.6或更小，且优选设为0.5或更小。

6.根据权利要求1和2中任一项所述的真空气相沉积设备，其中，以当从所述蒸发材料的整个表面上观看时以所述排放孔和所述通孔不在同一直线上对准的方式设置所述通孔。

7.根据权利要求1和2中任一项所述的真空气相沉积设备，其中，用于加热所述蒸发容器的加热装置由以螺旋形式缠绕在所述蒸发容器的外表面上的一个加热装置和向所述加热装置馈送电力的一个加热电源构成，并且

用于控制所述加热电源的控制装置由检测所述蒸发材料的所述蒸汽的蒸发率的一个蒸发率检测装置和基于由所述蒸发率检测装置检测到的所述蒸发率控制到所述加热电源的输出的一个蒸发率控制装置构成，使得所述蒸发材料的所述蒸汽的蒸发率保持恒定。

8.根据权利要求7所述的真空气相沉积设备，其中，所述加热装置以其在排放孔侧的间距比其在蒸发材料侧的间距密集的方式缠绕。