[发明专利]掩膜缺陷检测装置

权利要求书

1.一种掩膜缺陷检测装置，包括：

张紧夹具单元，包括之上定位有待检测的金属掩膜的支架、设置在所述支架两侧以固定所述金属掩膜的相对边缘的夹紧部件和将张紧力施加到由所述夹紧部件固定的所述金属掩膜的张紧部件；以及

用于检测由所述张紧夹具单元固定的所述金属掩膜的检测单元，

其中定位在所述支架上的所述金属掩膜与所述检测单元之间的垂直距离小于或等于所述张紧夹具单元与所述检测单元之间的垂直距离。

2.根据权利要求1所述的掩膜缺陷检测装置，其中：

定位在所述支架上的所述金属掩膜在所述支架的边缘处以预定角度弯曲，使得所述金属掩膜被固定到所述夹紧部件。

3.根据权利要求2所述的掩膜缺陷检测装置，其中所述预定角度处于10°到30°的范围内。

4.根据权利要求1所述的掩膜缺陷检测装置，其中：

固定所述金属掩膜的所述边缘的所述夹紧部件的固定表面相对于之上定位有所述金属掩膜的所述支架的表面具有预定倾斜角度。

5.根据权利要求4所述的掩膜缺陷检测装置，其中所述预定倾斜角度处于10°到30°的范围内。

6.根据权利要求1所述的掩膜缺陷检测装置，其中：

所述张紧部件牵引所述夹紧部件以将所述张紧力施加到所述金属掩膜。

7.根据权利要求1所述的掩膜缺陷检测装置，进一步包括：

传送单元，用于相对于所述检测单元和所述张紧夹具单元的一个沿平行方向传送所述检测单元和所述张紧夹具单元中的另一个。

8.根据权利要求1所述的掩膜缺陷检测装置，其中：

所述检测单元包括用于检测定位在所述支架上的所述金属掩膜的缺陷的存在的摄像机单元和围绕所述摄像机单元设置以照明所述金属掩膜的照明单元。

9.根据权利要求1所述的掩膜缺陷检测装置，其中所述金属掩膜与所述检测单元之间的所述垂直距离小于或等于所述夹紧部件与所述检测单元之间的垂直距离。

10.根据权利要求1所述的掩膜缺陷检测装置，其中所述金属掩膜与所述检测单元之间的所述垂直距离小于或等于所述张紧部件与所述检测单元之间的垂直距离。