[发明专利]丙烯酸单体、聚合物和化学增幅型光致抗蚀剂组合物

权利要求书

1.一种丙烯酸单体，其特征在于：该丙烯酸单体的末端具有叔丁氧羰基。

2.如权利要求1所述的丙烯酸单体，其特征在于：所述丙烯酸单体如化学式(Ⅰ)所示，

化学式(Ⅰ)：

其中R₆表示氢或者甲基。

3.一种聚合物，其特征在于：所述聚合物由包括丙烯酸单体的混合物聚合而成，且所述丙烯酸单体的末端具有叔丁氧羰基。

4.如权利要求3所述的聚合物，其特征在于：其中所述聚合物包含分别由化学式(Ⅱ)和(Ⅲ)表示的重复单元，

化学式(Ⅱ)：

其中R₆表示氢或者甲基，且

化学式(Ⅲ)：

其中R₃表示C₁-C₃₀烷基或者C₁-C₃₀环烷基，每一个R₃基团包括或者不包括氢原子、醚基、酯基、羰基、乙酰基、环氧基、硝基和醛基中的一个，且R₅表示氢或者甲基。

5.如权利要求4所述的聚合物，其特征在于：所述聚合物进一步包括由化学式(Ⅳ)表示的重复单元，

化学式(Ⅳ)：

其中R₁表示C₁-C₃₀烷基或者C₁-C₃₀环烷基，每一个R₁基团包括或者不包括氢原子、醚基、酯基、羰基、乙酰基、环氧基、硝基和醛基中的一个。

6.如权利要求4所述的聚合物，其特征在于：由化学式(Ⅲ)表示的重复单元数至少是两个，且该至少两个重复单元彼此不同。

7.如权利要求3所述的聚合物，其特征在于：其中所述聚合物由化学式(Ⅴ)表示，化学式(Ⅴ)：

其中R₁、R₂和R₃分别表示C₁-C₃₀烷基或者C₁-C₃₀环烷基，每一个R₁、R₂或R₃基团包括或者不包括氢原子、醚基、酯基、羰基、乙酰基、环氧基、硝基和醛基中的一个；R₄、R₅和R₆分别表示氢或者甲基，且l、m、n和o各自表示主链中的重复单元数，每一个数均满足：l+m+n+o＝1，0≤l/(l+m+n+o)＜0.4，0＜m/(l+m+n+o)＜0.6，0≤n/(l+m+n+o)＜0.6，0＜o/(l+m+n+o)＜0.4。

8.如权利要求7所述的聚合物，其特征在于：化学式(Ⅴ)中的l满足0.1≤l/(l+m+n+o)＜0.4。

9.如权利要求3所述的聚合物，其特征在于：所述聚合物就聚苯乙烯而言具有2,000到1,000,000的平均分子量，和1到5的分子量分布。

10.一种化学增幅型光致抗蚀剂组合物，该光致抗蚀剂组合物包括聚合物、光酸产生剂和溶剂，所述聚合物由包括丙烯酸单体的混合物聚合而成，所述丙烯酸单体的末端具有叔丁氧羰基。

11.如权利要求10所述的光致抗蚀剂组合物，其特征在于：所述聚合物包括由化学式(Ⅱ)和(Ⅲ)表示的重复单元，

化学式(Ⅱ)：

其中R₆表示氢或者甲基，

化学式(Ⅲ)：

其中R₃表示C₁-C₃₀烷基或者C₁-C₃₀环烷基，每一个R₃基团包括或者不包括氢原子、醚基、酯基、羰基、乙酰基、环氧基、硝基和醛基中的一个，且R₅表示氢或者甲基。

12.如权利要求10所述的光致抗蚀剂组合物，其特征在于：以所述光致抗蚀剂组合物的总量为100重量份计，所述聚合物占3到20重量份。