[发明专利]电荷粒子分选装置以及电荷粒子照射装置

权利要求书

1.一种电荷粒子分选装置，用于分选离子化的气体团簇，其特征在于，包括：

三个以上电场施加部，所述三个以上电场施加部沿所述气体团簇的前进方向排列，用于施加电场；以及

狭缝，用于分选所述气体团簇，

其中，所述电场施加部由两片电极构成，并通过向所述电极施加交流电压来使离子化的气体团簇发生偏转，

相邻的所述电场施加部被施加不同相位的交流电压，

所述狭缝在所述气体团簇入射的方向的延长线上具有开口部。

2.一种电荷粒子分选装置，用于分选离子化的气体团簇，其特征在于，包括：

三个以上电场施加部，所述三个以上电场施加部沿所述气体团簇的前进方向排列，用于施加电场；以及

狭缝，用于分选所述气体团簇，

其中，所述电场施加部由两片电极构成，并通过向所述电极施加交流电压来使离子化的气体团簇发生偏转，

相邻的所述电场施加部被施加不同相位的交流电压，

所述狭缝具有使得经所述电场施加部偏转后的所述气体团簇通过的开口部。

3.一种电荷粒子分选装置，用于分选离子化的气体团簇，其特征在于，包括：

电场施加部，所述电场施加部沿所述气体团簇的前进方向排列，用于施加电场；以及

狭缝，用于分选所述气体团簇，

其中，所述电场施加部由两片电极构成，并且，所述电场施加部具有交流电场施加部和直流电场施加部，并通过向所述电极施加在直流电压上叠加交流电压而得的电压来使离子化的气体团簇发生偏转，所述直流电压是在所述直流电场施加部中产生的，所述交流电压是在所述交流电场施加部中产生的，

相邻的所述电场施加部被施加不同相位的交流电压，

所述狭缝具有使得经所述电场施加部偏转后的所述气体团簇通过的开口部。

4.如权利要求1至3中任一项所述的电荷粒子分选装置，其特征在于，所述交流电压具有以下频率，所述频率仅使得构成所述气体团簇的原子数相同的气体团簇中的预定价数的所述气体团簇通过所述狭缝的开口部。

5.如权利要求1至4中任一项所述的电荷粒子分选装置，其特征在于，所述预定的价数是1价。

6.如权利要求1至5中任一项所述的电荷粒子分选装置，其特征在于，相邻的所述电场施加部的电极被施加相位彼此相差180°的电压。

7.如权利要求1至6中任一项所述的电荷粒子分选装置，其特征在于，所述电场施加部的数目是3或4。

8.一种电荷粒子照射装置，其特征在于，包括：

气体团簇生成部，其生成气体团簇；

离子化电极，其将所述气体团簇离子化；

加速电极，用于加速所述离子化了的气体团簇；以及

权利要求1至7中任一项所述的电荷粒子分选装置，用于在所述加速了的离子化的气体团簇中分选出预定价数的离子化的气体团簇，

并且，所述电荷粒子照射装置向部件照射从所述电荷粒子分选装置射出的离子化的气体团簇。