[发明专利]基于SOI的外脊布拉格波导光栅

权利要求书

1.一种基于SOI的外脊布拉格波导光栅，在衬底氧化硅(3)的一个侧面上设置硅基脊波导(2)，硅基脊波导(2)的一端为输入端口(1)，另一端为输出端口(5)；其特征在于：外脊布拉格波导光栅设置在硅基脊波导(2)的一侧或两侧外脊平板区(4)。

2.根据权利要求1所述的一种基于SOI的外脊布拉格波导光栅，其特征在于：所述外脊布拉格波导光栅为均匀外脊布拉格波导光栅或非均匀外脊布拉格波导光栅。

3.根据权利要求2所述的一种基于SOI的外脊布拉格波导光栅，其特征在于：所述均匀外脊布拉格波导光栅为均匀矩形齿分布的外脊布拉格波导光栅(6)或均匀三角形齿分布的外脊布拉格波导光栅(7)。

4.根据权利要求2所述的一种基于SOI的外脊布拉格波导光栅，其特征在于：所述非均匀外脊布拉格波导光栅为高斯变迹外脊布拉格波导光栅(8)或升余弦变迹外脊布拉格波导光栅(9)。