[发明专利]悬臂式坩埚起吊搬运机构

说明书

技术领域

本发明涉及半导体生产设备，特别涉及一种悬臂式坩埚起吊搬运机构。

背景技术

目前市场上大部分单晶炉设备都还没有可以实现自动搬运硅料与石英坩埚的功能部件，工厂在拉制晶棒的开始和结束时都需要人工拖运硅料与石英坩埚。人工搬运硅料和石英坩埚时，人为因素极易破坏高价的石英坩埚，和污染硅原料，还有工作效率低，人工搬运困难，劳动力成本高等问题。

发明内容

为了克服上述现有技术存在的缺陷，本发明提供一种悬臂式坩埚起吊搬运机构，实现硅料，石英坩埚等在单晶炉腔体内外的半自动搬运，减少了工人的劳动强度，节省人力与成本，工人操作简单方便，提高了生产效率。

为了实现上述目的，本发明的技术方案如下：

悬臂式坩埚起吊搬运机构，安装在单晶炉的立柱侧面，与单晶炉配合使用，实现半自动搬运硅料与石英坩埚。

它包括成直角弯曲的手柄，与手柄相连的悬臂，位于手柄与悬臂连接处下方的钢丝绳及与钢丝绳连接的卷扬机吊钩，设置于悬臂内的导线轮，与悬臂通过转轴连接的导线轮座，与所述导线轮座轴承连接的轴承座，位于轴承座下方其内部设有导线轮的盖板，连接在盖板底部的微型电动卷扬机，所述钢丝绳穿过悬臂内部，绕过所述导线轮及导线轮座，再垂直而下穿过轴承座及盖板内部的导向轮，与所述微型电动卷扬机的转动机构连接。

进一步，所述悬臂包括直梁、弯梁与连接所述直梁与弯梁的连接座，悬臂通过直梁连接所述手柄，所述弯梁通过转轴连接导线轮座。

卷扬机吊钩上方的钢丝绳在靠近悬臂的直梁上端设置限位机构，限位机构由限位开关与连接在直梁底部的限位座构成，通过限位开关可控制卷扬机吊钩在竖直方向上停止动作。

手柄转动悬臂在水平方向左右移动，所述悬臂转至两侧最大放置角度时，悬臂与导线轮座之间的转轴两端设置限位开关动作，同时在最大限位处设有机械硬限位，并有弹性销钉卡住，使悬臂不能在水平方向上随意转动。

在所述支柱的顶端设置导线轮，所述导线轮侧部连接导线轮座，导线轮安装在所述悬臂内。

所述微型电动卷扬机电连接手持控制盒，手持控制盒上设置“向上”与“向下”的按钮，按住所述“向上”与“向下”的按钮微型电动卷扬机通过钢丝绳卷起或放松。

所述悬臂的连接槽内连接一直梁、直梁再连接弯曲的手柄，手柄一端与直梁连接，另一端垂直而下，成90度弯曲；手柄便于人手握操作带动悬臂从一个位置移到另一个位置。

所述手柄与直梁的衔接处设置调整块，所述调整块下方设置钢丝绳，所述钢丝绳的一端连接在直梁底部，另一端栓接卷扬机吊钩。

所述钢丝绳比较接近直梁的部位设置限位开关，所述限位开关连接在位于旁侧直梁下的限位座上。

本发明的工作过程是，当单晶炉装料或卸料时，通过本机构把装有硅料的石英坩埚从腔体外吊运至腔体内，或由腔体内吊运至腔体外；

卷扬机钢丝绳上的吊钩勾住坩埚吊具，一手握住控制盒，按住控制盒的向上或向下按钮，卷杨机通过钢丝绳卷起或放松；带动所吊重物做升降运动，同时另一手可手握悬臂前端的手柄转动所述悬臂从一个位置到所需位置，当上升到快接近悬臂上端时，限位开关动作，同时在最大限位处设有机械硬限位，并有弹性销钉卡住，使悬臂不能随意转动。

本发明的有益效果是，本发明所述的悬臂式坩埚起吊搬运机构可直接安装在单晶炉的立柱侧面，不会另外占用更多的场地，使原来的纯工人操作变成半自动化操作，节约了劳动力，性价比高，经济实用性强。

附图说明

图1为本发明结构的立体图。

图2为与图1对应的主视图。

图中，1、手柄，2、调整块，3、卷扬机吊钩，4、限位机构，5、弯梁，6、直梁，7、连接槽，8、微型电动卷扬机，9、立柱，10、导线轮，11、导线轮座，12、轴承座，13、盖板。

具体实施方式：

为了使本发明的创作特征、技术手段与达成目的易于明白理解，以下结合具体实施例进一步阐述本发明。

实施例：

参看图1与图2，悬臂式坩埚起吊搬运机构安装在立柱9的侧面，包括调节悬臂位置的手柄1，所述悬臂由直梁6、连接槽7与弯梁5连接构成；设置于直梁6下方的卷扬机吊钩3，与直梁6通过连接槽7连接的弯梁5，设置在立柱9侧边的微型电动卷杨机8。

手柄1成直角弯曲，它与直梁6的衔接处设置调整块2，调整块2下方通过钢丝绳连接卷扬机吊钩3，所述卷扬机吊钩勾住坩埚吊具，所述钢丝绳顺着直梁6内延伸绕过导线轮10，顺着导线轮座11垂直向下一直延伸至微型电动卷扬机8，并与微型电动卷扬机8的转动机构连接，微型电动卷扬机8采用变频器控制。