[发明专利]轻便型面接触式防污石英舟

权利要求书

1.一种轻便型面接触式防污石英舟，其特征是：包括两根水平设置的上石英分隔挡杆(1)、两根水平设置的下石英分隔挡杆(2)、左U形连接件(3)、中间U形连接件(4)、右U形连接件(5)、把手(6)和防污挡板(7)，中间U形连接件(4)设置在左U形连接件(3)和右U形连接件(5)的中间位置，两根上石英分隔挡杆(1)固定在左U形连接件(3)、中间U形连接件(4)和右U形连接件(5)上，两根下石英分隔挡杆(2)固定在左U形连接件(3)、中间U形连接件(4)和右U形连接件(5)上，所有U形连接件的底部均为平面，且处于同一平面内，在上石英分隔挡杆(1)的内侧面和下石英分隔挡杆(2)上面均开设有硅片卡槽(9)，两根上石英分隔挡杆(1)上的内侧硅片卡槽(9)底部之间的距离与硅片(8)的宽度尺寸相当；硅片(8)间隔地插在硅片卡槽(9)中，在左U形连接件(3)和右U形连接件(5)上都设有把手(6)，在靠近把手(6)端各插有一块防污挡板(7)。

2.根据权利要求1所述轻便型面接触式防污石英舟，其特征是：在硅片卡槽(9)的上口设有扩展角Φ，Φ在45°～90°之间。

3.根据权利要求1或2所述轻便型面接触式防污石英舟，其特征是：硅片卡槽(9)的中心线方向与石英分隔挡杆轴线之间夹角β为87°～88°。