[发明专利]一种高精度半导体恒温机无效
申请号: | 201010207712.2 | 申请日: | 2010-06-24 |
公开(公告)号: | CN102298400A | 公开(公告)日: | 2011-12-28 |
发明(设计)人: | 徐竹林;刘金升;夏前刚 | 申请(专利权)人: | 苏州华林科纳半导体设备技术有限公司 |
主分类号: | G05D23/20 | 分类号: | G05D23/20;F25B49/00 |
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地址: | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高精度 半导体 恒温 | ||
技术领域
本专利涉及一种对强碱、强酸液直接恒温控制的设备,尤其涉及一种高精度半导体恒温机。
背景技术
目前国内要想把液体控制在较高或较低的温度时,只有使用单一的制冷或制热设备,并且温度的精度只能控制在±1℃之内。而在半导体方面,这一领域完全是处于一片空白。同时,在强酸、强碱溶液温控方面,一般无法直接接触化学药液。而且,温控设备大多体积庞大,既不便移动,也很难安装。
因此,在强酸、强碱药液温控技术领域急需提供一种精度高、探头可直接接触药液且便于安装和移动的温控设备。
发明内容
本发明旨在提供一种精度高、探头可直接接触药液且便于安装和移动的高精度半导体恒温机,以解决现在常用的恒温设备温控精度差、探头不能直接接触药液且不便安装和移动的问题。
本发明的发明目的是通过下述技术方案来实现的:
一种高精度半导体恒温机,包括控制箱、内部设有恒温控制塔的主机箱,所述控制箱前面板上设有精确温控仪表,控制箱后面板上设有电源接口、通讯接口、恒温控制口接口、主温度控制口接口、参考温度口以及恒温控制开关、电源开关;所述主机箱前面板上设有药液进口、药业出口以及冷却水入口、冷却水出口,主机箱后面板上设有恒温控制控制口接口、主温度控制口接口;所述恒温控制塔外壁由水冷式散热板组成,所述外壁的上、下端分别设有药液入口、药液出口,所述外壁的下端设有底部支撑,外壁侧部下端设有冷却水入口和冷却水出口,外壁侧部上端设有连接冷却水出入口的串联冷却水管以使冷却水能够在冷却水入口和冷却水出口间正常流动,外壁侧部中间部分设有温度开关;所述水冷式散热板通过锁紧螺钉紧固以组成恒温控制塔外壁;
所述恒温控制塔内设有耐腐蚀药液腔,所述耐腐蚀药液腔内设有用于测得耐腐蚀药液腔内药液温度的PT100温度探头;所述PT100温度探头与所述精确温控仪表电连接,所述耐腐蚀药液腔的外壁由高耐腐蚀材料层组成;所述耐腐蚀药液腔外壁与恒温控制塔内壁之间设有半导体制冷片。
优选地,所述半导体制冷片的顶端和底端设有隔温棉;
优选地,所述冷却水入口、冷却水出口设有倒钩接头;
优选地,所述高耐腐蚀材料层为PTFE或耐腐蚀陶瓷。
本发明的有益效果是:本发明所述高精度半导体恒温机可对强碱、强酸液直接恒温控制,其温度精度可控制在±0.1℃内,广泛用于医药、化工、军工等高危操作;整体设备体积非常小、固体冷源,无噪声、无磨损、无污染、使用方便。数字显示温度,无级调温,控温灵活,水冷散热,制冷迅速。
附图说明
图1是本发明所述高精度半导体恒温机的主机箱主视图;
图2是本发明所述高精度半导体恒温机的主机箱后视图;
图3是本发明所述高精度半导体恒温机的控制箱主视图;
图4是本发明所述高精度半导体恒温机的控制箱后视图;
图5是本发明所述高精度半导体恒温机的主机箱的内部结构示意图。
图中:
1、药液进口;2、药液出口;3;冷却水入口;4;冷却水出口;5、温度开关;6、耐腐蚀药液腔;7、精确温控仪表;8、半导体制冷片;9、水冷式散热板;10、高耐腐蚀材料层;11、串联冷却水管;12、锁紧螺钉;13、电源接口;14、通讯接口;15、恒温控制口;16、主温度控制口;17、参考温度口;18、恒温控制开关;19、电源开关;20、底部支撑、21、隔温棉;22、控制箱;23、主机箱。
具体实施方式
以下结合具体的实施方式对本发明作进一步的说明。
如图1-7中,一种高精度半导体恒温机,包括控制箱22、内部设有恒温控制塔的主机箱23。
如图3中示,所述控制箱22前面板(即控制箱22的前面)上设有精确温控仪表7。
如图4中示,控制箱22后面板(即控制箱22的后面)上设有电源接口13、通讯接口14、恒温控制口接口15、主温度控制口接口16、参考温度口17以及恒温控制开关18、电源开关19。
如图1中示,所述主机箱23前面板(即主机箱23的前面)上设有药液进口1、药业出口2以及冷却水入口3、冷却水出口4。
如图2中示,主机箱23后面板(即主机箱23的后面)上设有恒温控制控制口接口15、主温度控制口接口16
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