[发明专利]一种能量天平可动互感线圈的位移测量装置

权利要求书

1.一种能量天平可动互感线圈的位移测量装置，包括一个纵向塞曼双频激光头(1)，其特征在于：在纵向塞曼双频激光头(1)的激光束输出方向上配置有第一分束器(2)，在第一分束器(2)的反射光束方向配置有光束转折器(4)，在第一分束器(2)的透射光束方向配置有第二分束器(3)。

2.根据权利要求1所述的一种能量天平可动互感线圈的位移测量装置，其特征在于：所述的第二分束器(3)的透射光束方向上配置有第一偏振分光棱镜(5)，在光束转折器(4)的反射光束方向上配置有第二偏振分光棱镜(6)，在第二分束器(3)的反射光束方向上配置有第三偏振分光棱镜(7)，第一偏振分光棱镜(5)、第二偏振分光棱镜(6)分别放置在隔振平台的水平基座上，第三偏振分光棱镜7固定于第二分束器(3)的竖直上方。

3.根据权利要求2所述的一种能量天平可动互感线圈的位移测量装置，其特征在于：所述的第一偏振分光棱镜(5)、第二偏振分光棱镜(6)的透射光束方向分别配置有第一参考角锥棱镜(8)、第二参考角锥棱镜(9)，第三偏振分光棱镜(7)的反射光束方向配置有第三参考角锥棱镜(10)，第一参考角锥棱镜(8)、第二参考角锥棱镜(9)、第三参考角锥棱镜(10)分别固定在第一偏振分光棱镜(5)、第二偏振分光棱镜(6)、第三偏振分光棱镜(7)上。

4.根据权利要求2所述的一种能量天平可动互感线圈的位移测量装置，其特征在于：所述的第一偏振分光棱镜(5)、第二偏振分光棱镜(6)的反射光束方向分别配置有第一测量角锥棱镜(11)、第二测量角锥棱镜(12)，第三偏振分光棱镜(7)的透射光束方向配置有第三测量角锥棱镜(13)，第一测量角锥棱镜(11)、第二测量角锥棱镜(12)、第三测量角锥棱镜(13)内嵌于能量天平可移动互感线圈(17)骨架内。

5.根据权利要求2所述的一种能量天平可动互感线圈的位移测量装置，其特征在于：所述的第一偏振分光棱镜(5)、第二偏振分光棱镜(6)、第三偏振分光棱镜(7)的反射光束和透射光束的汇合方向分别配置有第一光接收器(14)、第二光接收器(15)、第三光接收器(16)，第一光接收器(14)、第二光接收器(15)、第三光接收器(16)的光接收探头通过传输光纤分别和相应放大信号处理器相连。

6.根据权利要求1所述的一种能量天平可动互感线圈的位移测量装置，其特征在于：所述的第一分束器(2)、第二分束器(3)的能量分束比分别为33％和50％。

7.根据权利要求2所述的一种能量天平可动互感线圈的位移测量装置，其特征在于：所述的第一偏振分光棱镜(5)、第二偏振分光棱镜(6)、第三偏振分光棱镜(7)的中心在水平基座的投影组成等边三角形的顶点。

8.根据权利要求4所述的一种能量天平可动互感线圈的位移测量装置，其特征在于：所述的第一测量角锥棱镜(11)、第二测量角锥棱镜(12)、第三测量角锥棱镜(13)的中心与第一偏振分光棱镜(5)、第二偏振分光棱镜(6)、第三偏振分光棱镜(7)的中心在竖直方向一一对应。