[发明专利]基板收纳容器和具有其的基板检查装置

权利要求书

1.一种基板收纳容器，其特征在于包括：

盒，上部敞开，容纳在上下方向上层叠的多块基板；以及

壳体，形成有多个槽构件，该槽构件垂直装载所述盒。

2.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，

所述壳体包括：

支承板；以及

一对第一侧板，以相互相对的方式垂直设置在所述支承板的上表面上，所述槽构件向与所述第一侧板相对的面垂直的方向突出。

3.根据权利要求2所述的基板收纳容器，其特征在于，所述槽构件设置在所述第一侧板相对的面上的两侧垂直边之间的区域上。

4.根据权利要求3所述的基板收纳容器，其特征在于，

所述壳体还包括：

第二侧板，相对于所述槽构件的排列方向垂直设置，连接在所述第一侧板的任意一个所述垂直边上。

5.根据权利要求4所述的基板收纳容器，其特征在于，

所述壳体还包括：

突出部，从所述第一侧板的任意一个所述垂直边向所述槽构件的突出方向突出。

6.根据权利要求2所述的基板收纳容器，其特征在于，

所述壳体还包括：

握持部，在所述支承板上设置成以所述第一侧板为中心对称。

7.根据权利要求2所述的基板收纳容器，其特征在于，在所述支承板上贯通形成有第一孔，固定所述支承板的销构件能够插入该第一孔。

8.根据权利要求2至7中任意一项所述的基板收纳容器，其特征在于，

所述盒包括：

四边形的第一板，由所述壳体的所述槽构件支撑；

第二板，从朝着所述槽构件的长度方向的所述第一板的边向与所述第一板垂直的方向延伸；以及

第一下垫板，从所述第二板的下端向相互相对的方向延伸，支承所述基板。

9.根据权利要求8所述的基板收纳容器，其特征在于，

所述盒还包括：

第二下垫板，从所述第一板的下端中心部向与所述第一板垂直的方向延伸，支承所述基板。

10.根据权利要求9所述的基板收纳容器，其特征在于，在与所述第一下垫板和所述第二下垫板之间的区域对应的所述支承板的位置上，形成有第二孔，使所述基板升降的升降机构能够插入该第二孔。

11.根据权利要求10所述的基板收纳容器，其特征在于，

所述盒还包括：

侧面支撑构件，以相互相对的方式设置在所述第二板的内表面上，支撑由所述第一下垫板和所述第二下垫板支承的所述基板的侧面。

12.根据权利要求10所述的基板收纳容器，其特征在于，

所述盒还包括：

隔壁，具有与所述第二板对应的形状，设置成在所述第一板和所述第二下垫板之间能够装拆。

13.一种基板收纳容器，其特征在于包括：

盒，以基板在上下方向上层叠的方式容纳所述基板；以及

壳体，具有容纳所述盒的空间，

各个所述盒在所述壳体中通过滑动的方式移动，能够与所述壳体分离或插入所述壳体。

14.根据权利要求13所述的基板收纳容器，其特征在于，

所述壳体包括一对第一侧板，该一对第一侧板以相互相对的方式分开配置，在所述第一侧板上形成有长度方向朝向上下方向的槽构件，

各个所述盒包括：

第一板，由所述槽构件支撑，能够沿所述槽构件滑动；以及

第二板，与所述第一板的两端连接，

所述基板收纳在所述第一板和所述第二板之间形成的空间中。

15.根据权利要求14所述的基板收纳容器，其特征在于，在所述第一板和所述第二板相互组合时，从上部看为コ形。

16.根据权利要求14所述的基板收纳容器，其特征在于，

所述盒还包括：

隔壁，位于所述第二板之间，分隔所述第二板之间的空间，设置成相对于所述第一板能够装拆。

17.根据权利要求14至16中任意一项所述的基板收纳容器，其特征在于，所述盒设置成沿与所述第一侧板的配置方向垂直的第二方向排成一列。