[发明专利]微波无极准分子灯处理废水的装置与灯的配气系统

权利要求书

1.一种微波无极准分子灯处理废水的装置，包括微波电源(1)、微波发生器、无极准分子灯(5)及废水处理池(9)，微波发生器包括外壳(2)、磁控管(3)、谐振腔壳体(4)，其特征在于：

废水处理池(9)置于微波发生器的外壳(2)下方，无极准分子灯(5)的1/5～1/3部分固定在谐振腔壳体(4)内；

无极准分子灯(5)未置于谐振腔壳体(4)内的部分还套有一下端封闭上端敞口的石英套管(8)，并置于废水处理池(9)；

微波发生器还包括对谐振腔壳体(4)降温的风扇(6)和冷却铜管(7)，风扇(6)固定在外壳(2)的内侧壁上，且其叶片正对谐振腔壳体(4)，冷却铜管(7)焊接缠绕在外壳(2)的外表面。

2.根据权利要求1所述的微波无极准分子灯处理废水的装置，其特征在于：外壳(2)由支架支撑在地面上，所述支架包括立柱(2-1)和高度可调式支脚(2-2)。

3.根据权利要求1所述的微波无极准分子灯处理废水的装置，其特征在于：外壳(2)的底部中央设有螺纹安装孔，谐振腔壳体(4)的底部开有一安装孔，两个孔同轴；

无极准分子灯(5)由固定件(10-1)固定在谐振腔壳体(4)中，所述固定件(10-1)是一带外螺纹的空心管件，管件的内径与无极准分子灯(5)插入谐振腔壳体(4)的部分的外径大小相等，管件的外侧面设置的外螺纹与外壳(2)底部的螺纹安装孔相配合从而固定件(10-1)固定在外壳(2)的底部；

无极准分子灯(5)的上端从下往上通过固定件(10-1)中间的通孔和谐振腔壳体(4)底部的安装孔进入并固定在谐振腔中。

4.根据权利要求1所述的微波无极准分子灯处理废水的装置，其特征在于：石英套管(8)通过1～3个位于石英套管(8)中的固定架(10-2)而固定在无极准分子灯(5)上，所述固定架(10-2)的主体是一具有弹性的空心圈，空心圈的内径大小与无极准分子灯(5)的灯管(5-1)的外径大小相同；在空心圈的外周壁上还包括3～6个使用时与石英套管(8)的内壁紧配合而相互固定的凸起。

5.根据权利要求1所述的微波无极准分子灯处理废水的装置，其特征在于：所述无极准分子灯(5)包括灯管(5-1)、内管(5-2)、金属线圈(5-3)和填充气体(5-4)，灯管(5-1)由石英玻璃制成且两端封闭，内管(5-2)可以全部或部分设置在灯管(5-1)内。

6.一种无极准分子灯的配气系统，包括真空泵(21)、三通阀(23)、扩散泵(24)、洗气瓶(25)、储气瓶(27)、压力指示计(28)、充气管(29)、排气口、缓冲瓶(31)和各部分进行连接的相应的管道、阀门或活塞；其特征在于：还包括一设置在真空泵(21)和三通阀(23)之间的冷井(22)，也即真空泵(21)前还设置一冷井(22)；

三通阀(23)包括第一三通阀(23-1)和第二三通阀(23-2)，按照气体的运动顺序，真空泵(21)的抽气口经液氮冷井(22)与第一三通阀(23-1)的第一端口相连；第一三通阀(23-1)的第三端口经管道与第二三通阀(23-2)的第一端口相连；第二三通阀(23-2)的第二端口经管道与扩散泵(24)的第一抽气口相连；扩散泵(24)的第二抽气口经管道与第一三通阀(23-1)的第二端口相连；第二三通阀(23-2)的第三端口通过第六管道(46)分别与洗气瓶(25)，储气瓶(27)，压力指示计(28)，缓冲瓶(31)以及充气管道(47)相连；第六管道(46)远离第二三通阀(23-2)的端口未被封闭，该端口设置一个排气阀门(30)作为排气口。

7.根据权利要求6所述的无极准分子灯的配气系统，其特征在于：压力指示计(28)包括指示大于10torr压力值的耐腐蚀压力表(28-1)和指示0.1torr至10torr压力值的U型压力计(28-2)，U型压力计(28-2)中的指示液是浓硫酸、浓磷酸或真空油脂。

8.根据权利要求6所述的无极准分子灯的配气系统，其特征在于：储气瓶(27)包括卤素储气瓶(27-1)，惰性气体储气瓶(27-2)，汞储气瓶(27-3)；其中卤素储气瓶(27-1)包括氟气瓶、氯气瓶、溴水瓶、碘瓶；惰性气体储气瓶(27-2)包括He、Ne、Ar、Kr、Xe各自的气瓶；汞储气瓶(27-3)中装有液态汞。