[发明专利]激光辐照装置、激光辐照方法、以及半导体器件制造方法

权利要求书

1.一种激光辐照装置，它包含：

多个激光器；

隔离器；

用来将多个激光束在辐照表面上的形状形成为椭圆形或矩形的装置；以及

用来沿第一方向和与第一方向相反的方向移动多个激光束在辐照表面上的辐照位置，并沿第二方向移动多个激光束在辐照表面上的辐照位置的装置。

2.根据权利要求1的激光辐照装置，其中用来将多个激光束在辐照表面上的形状形成为椭圆形或矩形的装置具有凸透镜、柱形透镜、或光栅。

3.一种激光辐照装置，它包含：

激光器；

用来将激光器发射的激光束分割成多个激光束的光束分裂器；

相对多个激光束倾斜地安置的辐照表面；

用来将多个激光束在辐照表面上的形状形成为椭圆形或矩形的多个透镜；以及

用来移动多个激光束在辐照表面上的辐照位置的平台。

4.根据权利要求3的激光辐照装置，其中激光器是连续振荡或脉冲振荡的固体激光器。

5.根据权利要求3的激光辐照装置，其中激光器是选自连续振荡或脉冲振荡的YAG激光器、YVO₄激光器、YLF激光器、YAlO₃激光器、玻璃激光器、红宝石激光器、变蓝宝石激光器和掺Ti的蓝宝石激光器的一种或多种。

6.根据权利要求3的激光辐照装置，其中激光器是选自Ar激光器和Kr激光器的一种或多种。

7.一种激光辐照装置，它包含：

多个激光器；

相对于多个激光束倾斜地安置的衬底的辐照表面；

与辐照表面相对地提供的板；以及

用来移动多个激光束在辐照表面上的辐照位置的装置，

其中多个激光束的每一个都入射到衬底，然后通过衬底传输，并在板上被反射，且再次入射到衬底。

8.根据权利要求7的激光辐照装置，其中板是反射板。

9.根据权利要求1或7的激光辐照装置，其中用来移动多个激光束在辐照表面上的辐照位置的装置是平台。

10.根据权利要求1或7的激光辐照装置，其中多个激光器的每一个是连续振荡或脉冲振荡的固体激光器。

11.根据权利要求1或7的激光辐照装置，其中多个激光器的每一个是选自连续振荡或脉冲振荡的YAG激光器、YVO₄激光器、YLF激光器、YAlO₃激光器、玻璃激光器、红宝石激光器、变蓝宝石激光器和掺Ti的蓝宝石激光器的一种或多种。

12.根据权利要求1或7的激光辐照装置，其中多个激光器的每一个是选自Ar激光器和Kr激光器的一种或多种。

13.一种激光辐照方法，它包含：

用光学系统将多个激光束在相对于该多个激光束倾斜地安置的辐照表面上的形状形成为椭圆形或矩形；

在辐照表面移动的同时，发射多个激光束。

14.一种激光辐照方法，它包含：

用光学系统将多个激光束在相对于该多个激光束倾斜地安置的辐照表面上的形状形成为椭圆形或矩形；

在移动的同时，发射多个激光束。

15.根据权利要求13或14的激光辐照方法，其中凸透镜、柱形透镜或光栅被用作光学系统。

16.根据权利要求13或14的激光辐照方法，其中多个激光束由连续振荡或脉冲振荡的固体激光器来振荡。

17.根据权利要求13或14的激光辐照方法，其中多个激光束由选自连续振荡或脉冲振荡的YAG激光器、YVO₄激光器、YLF激光器、YAlO₃激光器、玻璃激光器、红宝石激光器、变蓝宝石激光器和掺Ti的蓝宝石激光器的一种或多种来振荡。

18.根据权利要求13或14的激光辐照方法，其中多个激光束由选自Ar激光器和Kr激光器的一种或多种来振荡。