[发明专利]一种微孔液体冷却不变形镜及其制作方法

权利要求书

1.一种微孔液体冷却不变形镜的制作方法，通过在镜面(1)背面一体成型液体流动微孔层(3)，使冷却液体能够在该液体流动微孔层(3)的微孔中流动，从而实现对镜面(1)的冷却，降低镜面(1)的温升和变形，具体包括如下步骤：

(一)以镜面(1)的背面作为基底，在该基底上预镀覆一层金属基粉末混合物作为过渡层(2)；

(二)在上述过渡层(2)上预置一层所述金属基粉末混合物，采用激光对上述金属基粉末混合物进行扫描，使其中的低熔点粉末熔化粘结高熔点粉末，烧结成型一层微孔层；再在上述成型的微孔层上多次重复上述预置和扫描过程，从而在过渡层(2)上形成多层微孔层构成的液体流动微孔层(3)；

(三)在上述液体流动微孔层(3)上安装镜架(4)，即可形成所述的微孔液体冷却不变形镜。

2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，上述的步骤(二)金属基粉末混合物由至少两种熔点不同的粉末组成。

3.根据权利要求1或2所述的制作方法，其特征在于，上述步骤(一)中的镀覆方法可以是热喷度、电化学、磁控溅射或真空镀膜。

4.根据权利要求1-3之一所述的制作方法，其特征在于，所述液体流动微孔层(3)中的连通孔(5)的孔隙率、孔径和形状能够通过调节金属基粉末混合物的粉末形状、成分、粒度或配比来进行调节。

5.利用权利要求1-4之一所述的制作方法制作的微孔液体冷却不变形镜，用于激光光学谐振腔及光学链中，包括镜面(1)、过渡层(2)、液体流动微孔层(3)和镜架(4)，其中镜面(1)、过渡层(2)和液体流动微孔层(3)固接为一体，工作时，镜面(1)面向激光辐照区，吸收热量温度升高，冷却液体通过镜架(4)上的进水孔流入液体流动微孔层(3)，通过换热，带走镜面(1)吸收的热量，从而降低镜面(1)温升，抑制变形。