[发明专利]QFN封装器件切割用金属烧结型金刚石锯刀制备方法

权利要求书

1.QFN封装器件切割用金属烧结型金刚石锯刀制备方法，其特征在于：按以下步骤进行：

(1)组成设计与配制

按照95-98重量份的金属粉末和2-5重量份的无机填料的配比配制金属基胎体组成，金属粉末包括25-38重量份的Cu、3-8重量份的Sn和55-68重量份的Co，无机填料包括1-4重量份的SiC和1-4重量份的Al₂O₃；将上述混合料置于混料机中湿混搅拌3-5h使其均匀化，然后加入经过筛分除垢的金刚石颗粒，搅拌2-3h后获得成份均匀及金刚石均布的混合料，金刚石颗粒的体积百分浓度为45-78％，粒度为25-75μm；金属粉末粒度为325-400目；

(2)冷压预成形

将上述混合料均匀布于钢模磨具中，封盖后放于压机的压板上，提升至与上压板接触并施加50-75MPa的压力并保压2-3s制得成形压坯，然后将成形压坯置于石墨模具中；

(3)热压烧结

将热压模具连同工件整体移入烧结炉内，按模压压力25-35MPa、升温速率50-70℃/min、烧结温度600-800℃，保温保压时间6-8min设置烧结工艺参数，通过热压烧结工艺制备金属烧结金刚石锯刀毛坯，最后卸载空冷至室温；

(4)加工成型

外形切割：锯刀毛坯去除毛刺后利用慢走丝机床将其内孔、外圆加工到所需尺寸以满足装配需要；

厚度减薄：利用双面磨床以游离SiC磨料减薄锯刀毛坯到要求的厚度，最终制得满足尺寸要求的金刚石锯刀。

2.根据权利要求1所述的QFN封装器件切割用金属烧结型金刚石锯刀制备方法，其特征在于：按以下步骤进行：

(1)组成设计与配制

按98重量份的金属粉末和2重量份的无机填料的配比配制金属胎体组成，金属粉末包括25重量份的Cu、8重量份的Sn、65重量份的Co，无机填料包括1重量份的SiC和1重量份的Al₂O₃；将上述金属粉末和无机填料置于涡流混料机中湿混搅拌3.5h后使其均匀化，然后加入经过筛分除垢的金刚石颗粒，搅拌2h后获得成份均匀及金刚石均布的混合料，金刚石颗粒的体积百分比浓度为50％，粒度为45μm；金属粉末粒度为325目；

(2)冷压预成形

将上述混合料均匀布于钢模磨具中，封盖后放于压机的压板上，提升至与上压板接触并施加50MPa的压力并保压3s制得成形压坯，然后将成形压坯置于石墨模具中；

(3)热压烧结

将热压模具连同工件整体移入烧结炉内，按模压压力30MPa、升温速率50℃/min、烧结温度600℃、保温保压时间8min设置烧结工艺参数，通过热压烧结制备金属烧结金刚石锯刀毛坯，最后卸载空冷至室温；

(4)加工成型

外形切割：锯刀毛坯去除毛刺后利用慢走丝机床将其内孔、外圆加工到所需尺寸以满足装配需要，其中内孔精度为H5，外圆公差为±0.005mm

厚度减薄：利用双面磨床以游离SiC磨料减薄锯刀毛坯到要求的厚度及精度±0.003mm，最终制得满足尺寸要求的金刚石锯刀。